公开(公告)号：CN110662858A

公开(公告)日：2020-01-07

申请号：CN201880009842.X

申请日：2018-01-17

申请人： 弗谢沃洛德·弗拉基米罗维奇·龙丁 ,  默诺罗姆有限公司 ,  索芙特-因派克特有限公司 ,  安德烈·弗多罗维奇·查鲁尼科夫

发明人： 弗谢沃洛德·弗拉基米罗维奇·龙丁 ,  安德烈·弗多罗维奇·查鲁尼科夫 ,  E·E·扎瓦林 ,  E·V·爱克瓦夫 ,  D·S·巴扎雷夫斯基 ,  R·A·特勒勒夫

IPC分类号： C30B25/14 ,  C30B25/16 ,  C30B25/22 ,  C30B35/00 ,  C30B29/38 ,  C30B29/40 ,  C23C16/455 ,  C23C16/52 ,  C23C16/34 ,  B01F3/02 ,  B01F5/02 ,  B01F15/06

摘要： 本发明涉及通过气态化合物的分解来化学施涂涂层的方法，特别涉及将气体注入反应室的方法。本发明还涉及用于将气体供入反应室的装置，所述装置提供对反应性气流的调节，并确保能够获得具有设定参数并且基于III族金属氮化物的多层外延结构，同时提高其外延生长过程的生产率和成本效益。在进料至反应器之前，将所有气流送至与反应器相连的混合室，然后在层流条件下通过流形成器将其加入反应器中。混合室和流形成器装有用于维持设定温度的装置。作为这方案的结果，使具有设定参数的气态混合物进料至反应器中，同时防止形成涡流。考虑工艺参数和所需的异质结的锐度来选择混合室的最大允许体积。

公开(公告)号：CN110662858B

公开(公告)日：2021-10-08

申请号：CN201880009842.X

申请日：2018-01-17

申请人： 弗谢沃洛德·弗拉基米罗维奇·龙丁 ,  默诺罗姆有限公司 ,  索芙特-因派克特有限公司 ,  安德烈·弗多罗维奇·查鲁尼科夫

发明人： 弗谢沃洛德·弗拉基米罗维奇·龙丁 ,  安德烈·弗多罗维奇·查鲁尼科夫 ,  E·E·扎瓦林 ,  E·V·爱克瓦夫 ,  D·S·巴扎雷夫斯基 ,  R·A·特勒勒夫

IPC分类号： C30B25/14 ,  C30B25/16 ,  C30B25/22 ,  C30B35/00 ,  C30B29/38 ,  C30B29/40 ,  C23C16/455 ,  C23C16/52 ,  C23C16/34 ,  B01F3/02 ,  B01F5/02 ,  B01F15/06

摘要： 本发明涉及通过气态化合物的分解来化学施涂涂层的方法，特别涉及将气体注入反应室的方法。本发明还涉及用于将气体供入反应室的装置，所述装置提供对反应性气流的调节，并确保能够获得具有设定参数并且基于III族金属氮化物的多层外延结构，同时提高其外延生长过程的生产率和成本效益。在进料至反应器之前，将所有气流送至与反应器相连的混合室，然后在层流条件下通过流形成器将其加入反应器中。混合室和流形成器装有用于维持设定温度的装置。作为这方案的结果，使具有设定参数的气态混合物进料至反应器中，同时防止形成涡流。考虑工艺参数和所需的异质结的锐度来选择混合室的最大允许体积。