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公开(公告)号：CN117742129A
公开(公告)日：2024-03-22
申请号：CN202311621698.4
申请日：2023-08-16
申请人： 深圳市恒运昌真空技术有限公司
IPC分类号： G05B11/42 , H01J37/32 , H01J37/248
摘要： 本发明公开了一种射频电源的叠层控制方法，属于射频电源控制技术领域，解决了现有射频等离子体电源系统的功率控制具有较长的延滞性的问题。该射频电源的叠层控制方法，包括：射频电源根据接收到的自身实时回传的功率输出端的第一电信号、匹配器的功率输出端的第二电信号以及腔室负载的电信号参考值，调整射频电源的输出功率；射频电源将调整后的射频电源的输出功率发送至所述匹配器的功率输入端；匹配器接收到所述调整后的射频电源后，基于所述调整后的射频电源的输出功率进行阻抗匹配，调整匹配器的输出功率；并将调整后的匹配器的输出功率发送至腔室负载的功率输入端。
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公开(公告)号：CN117467463A
公开(公告)日：2024-01-30
申请号：CN202311466184.6
申请日：2023-11-03
申请人： 深圳市恒运昌真空技术有限公司
摘要： 本发明公开了一种等离子体生物质液化方法，属于等离子体技术领域。本发明解决了现有等离子体生物质液化装置的反应腔开口朝上导致添加物料、取出液化后混合物、清洗反应腔和维护反应腔的操作不便捷，操作过程效率低的问题。本发明方法包括：确定对反应腔进行的操作，所述操作为填料操作、取料操作、清洗操作或维护操作；控制所述反应腔旋转，直至所述反应腔的开口旋转至对应目标位置，开始并完成所述操作。本发明通过控制反应腔旋转且旋转角度可控，使添加物料、取出液化后混合物、清洗反应腔和维护反应腔等操作更便捷且方便，提高工作人员的工作效率。
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公开(公告)号：CN117380116A
公开(公告)日：2024-01-12
申请号：CN202311462927.2
申请日：2023-11-03
申请人： 深圳市恒运昌真空技术有限公司
摘要： 本发明公开了一种等离子体生物质液化装置及方法，属于等离子体技术领域。本发明解决了现有技术中现有等离子体生物质液化装置在取出液化混合物的过程不便捷、易伤及操作人员，导致取料过程工作效率低的问题。本发明的装置包括基座结构、支撑结构、反应结构和电离结构；反应结构包括反应腔和转轴，通过转轴，反应腔与支撑结构转动连接；支撑结构用于支撑反应腔；支撑结构和电离结构与基座结构连接；电离结构包括电极杆，电极杆的工作端置于反应腔内部。本发明通过转动反应腔实现上下料，便于操作，提高工作效率。
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公开(公告)号：CN117353681A
公开(公告)日：2024-01-05
申请号：CN202311657464.5
申请日：2023-12-06
申请人： 深圳市恒运昌真空技术有限公司
摘要： 本发明涉及一种改进型D类功放、功放控制方法、射频电源及供电方法；属于射频电源技术领域，解决阻抗匹配问题；其中，在D类功放输出端的电路中包括多级LC谐振电路，所述多级LC谐振电路中包括至少一级以并联电感和串联电容两种方式配置受控开关的LC谐振电路，通过控制所述受控开关的开关状态，控制接入D类功放的LC谐振电路，进行D类功放的输出阻抗匹配。本发明因应功率输出需求而启用与屏蔽相关电感与电容，形成不同需求的LC单级或多级的谐振拓扑，实现D类功放的阻抗匹配。
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公开(公告)号：CN117352364A
公开(公告)日：2024-01-05
申请号：CN202311638758.3
申请日：2023-12-04
申请人： 深圳市恒运昌真空技术有限公司
IPC分类号： H01J37/32 , H03K3/02 , H02M1/08 , H02M7/5387 , H02M9/02
摘要： 本发明涉及一种射频电源的多脉冲驱动发生装置，属于射频电源技术领域，解决了现有射频电源在脉冲切换期间稳定性差的问题。该多脉冲驱动发生装置包括多脉冲发生器和切换器；其中，所述切换器连接在所述多脉冲发生器与射频电源的逆变器之间；所述多脉冲发生器，基于参考信号产生多级脉冲信号，各级脉冲信号的输出功率及频率不同；所述切换器，对所述多脉冲发生器产生的多级脉冲信号进行切换，并输出到逆变器对射频电源进行驱动，切换射频电源的输出功率及频率。
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公开(公告)号：CN116827140B
公开(公告)日：2023-12-19
申请号：CN202311105773.1
申请日：2023-08-30
申请人： 深圳市恒运昌真空技术有限公司
摘要： 本发明提供一种软开关谐振变换器，包括第一开关模块、第一谐振模块和输出模块；第一谐振模块包括第一谐振电容、第一耦合电感、第一谐振二极管和第一谐振开关管；第一耦合电感包括第一初级绕组和第一次级绕组；第一谐振电容的第一端与第一初级绕组的第一端连接，第一初级绕组的第二端与第一谐振开关管的第二端连接，第一谐振开关管的第一端与第一谐振电容的第二端、第二开关管的第二端连接；第一次级绕组的第一端与第一谐振二极管的阳极连接；电源对第一谐振模块充电，第一谐振模块对输出模块充电。本发明提供的变换器中，第一谐振模块参与储能与放能，提高了变换器的功率密度，使变换器具有高电压输出能力。
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公开(公告)号：CN117176091A
公开(公告)日：2023-12-05
申请号：CN202311443306.X
申请日：2023-11-02
申请人： 深圳市恒运昌真空技术有限公司
摘要： 本发明涉及一种射频电源的平衡功放拓扑电路及其控制方法，属于射频大功率功放技术领域，解决了现有平衡功放拓扑方式存在的成本高、精度差的问题。在该平衡功放拓扑电路中，第一功分器的输入端连接功率电源的输出端；第一功分器的一个输出端连接90°移相器的输入端，90°移相器的输出端连接第二功分器的输入端；第二功分器依次连接第一匹配电路、第一功率合成器；第一功分器的另一个输出端直接连接第三功分器的输入端；第三功分器依次连接第二匹配电路、第二功率合成器；第一功率合成器、第二功率合成器的输出端分别连接耦合器的通路端、耦合端；耦合器的共源端连接负载。
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公开(公告)号：CN116846234B
公开(公告)日：2023-11-10
申请号：CN202311111870.1
申请日：2023-08-31
申请人： 深圳市恒运昌真空技术有限公司
摘要： 本申请实施例公开了一种射频电源供能的二级变换器的控制方法，射频电源供能的二级变换器包括射频电源、第一电感、整流模块、降压模块和脉冲负载；整流模块包括开关单元和第一电容；开关单元包括四个开关管与四个二极管；第一开关管的第一端与第一二极管的阴极连接，第一开关管的第二端与第一二极管的阳极、第二开关管的第一端、第二二极管的阴极、第三开关管的第二端和第三二极管的阳极连接，第三开关管的第一端与第三二极管的阴极、第四开关管的第一端、第四二极管的阴极连接；第二开关管的第二端接地。本申请利用开关单元中的四个开关管及时对二级变换器的输出电压进行调节，从而稳定二级变换器的电压输出。
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公开(公告)号：CN116780898A
公开(公告)日：2023-09-19
申请号：CN202311016928.4
申请日：2023-08-14
申请人： 深圳市恒运昌真空技术有限公司
摘要： 本申请公开了一种高增益Cuk变换器及其控制方法，变换器包括电源Vg、开关管S、电阻R、二极管D1、D2、D3、D4、D5、D6和D7、输出二极管Do、电感L1、L2、L3、L4和L5、倍压电容C、寄生二极管Ds、寄生电容Cs。本发明具有优点：（1）寄生电容Cs、电感L3和L4谐振实现了开关管S的ZVS；当开关关闭时，电容C通过D4充电，当开关断开时，施加到L3和L4的电压高于传统Cuk电路，实现了高增益且降低了器件的电压应力；（2）仅用一个开关管，节省了成本且简化了结构；（3）在一个周期内实现五种工作模态，扩展了应用场景；（4）电感的并联设计，使得在CCM模态时可降低输出电流纹波。
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公开(公告)号：CN116759285A
公开(公告)日：2023-09-15
申请号：CN202311027227.0
申请日：2023-08-16
申请人： 深圳市恒运昌真空技术有限公司
IPC分类号： H01J37/32 , H01J37/248
摘要： 本发明涉及一种射频电源、射频电源的叠层控制环路，属于射频电源控制技术领域，解决了现有射频等离子体电源系统的功率控制具有较长的延滞性的问题。一种射频电源，所述射频电源的功率输出端连接至匹配器的功率输入端；所述射频电源基于射频电源的功率输出端的第一电信号、匹配器的功率输出端的第二电信号以及腔室负载的电信号参考值，调整射频电源的输出功率；并将调整后的射频电源的输出功率发送至所述匹配器的功率输入端。
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