公开(公告)号：CN1407128A

公开(公告)日：2003-04-02

申请号：CN02130361.4

申请日：2002-08-16

Applicant: 三井金属矿业株式会社

Inventor： 渡边弘 ,  高桥诚一郎 ,  山崎贵史

IPC: C23C14/34 ,  C23C14/08

Abstract: 本发明提供一种溅镀靶的制造方法，通过由宽度为100μs以下的脉冲输出的激光进行表面处理，经升华等除去在研削加工时生成的毛刺和研削粉末、特别是粉尘和尘埃等，因此可以使靶子开始使用时所产生的初期电弧显著降低，并能够提高初期稳定性，以低成本进行溅镀靶的制造。

公开(公告)号：CN1788915A

公开(公告)日：2006-06-21

申请号：CN200510123330.0

申请日：2002-08-16

Applicant: 三井金属矿业株式会社

Inventor： 渡边弘 ,  高桥诚一郎 ,  山崎贵史

IPC: B23K26/36

Abstract: 本发明提供一种溅镀靶的制造方法，通过由宽度为100μs以下的脉冲输出的激光进行表面处理，经升华等除去在研削加工时生成的毛刺和研削粉末、特别是粉尘和尘埃等，因此可以使靶子开始使用时所产生的初期电弧显著降低，并能够提高初期稳定性，以低成本进行溅镀靶的制造。

公开(公告)号：CN1262682C

公开(公告)日：2006-07-05

申请号：CN02130361.4

申请日：2002-08-16

Applicant: 三井金属矿业株式会社

Inventor： 渡边弘 ,  高桥诚一郎 ,  山崎贵史

IPC: C23C14/34 ,  C23C14/08

Abstract: 本发明提供一种溅镀靶的制造方法，通过由宽度为100μs以下的脉冲输出的激光进行表面处理，经升华等除去在研削加工时生成的毛刺和研削粉末、特别是粉尘和尘埃等，因此可以使靶子开始使用时所产生的初期电弧显著降低，并能够提高初期稳定性，以低成本进行溅镀靶的制造。