公开(公告)号：CN1658378A

公开(公告)日：2005-08-24

申请号：CN200510007774.8

申请日：2005-02-17

Applicant: 三井金属矿业株式会社

Inventor： 山本昌彦 ,  幸山佳弘 ,  野藤幸雄 ,  小林清人

IPC: H01L21/60 ,  H01L21/66

CPC classification number: H01L21/67288 ,  G01N21/86 ,  G01N21/8803 ,  H01L21/67132

Abstract: 本发明的检测设备和方法能够使得检测者以自然坐姿进行对安装电子元件的薄膜载带的目视检查而与放大器的放大倍率无关。该检测设备紧凑从而可以有效地利用在检测室里面的空间。该检测设备包括相互邻近的供带盘3和卷带盘7，和一个检测部分10，该检测部分被安置以使得相邻的供带和卷带盘是按照相对于检测部分10的供带盘和卷带盘的顺序。来自供带盘的薄膜载带T按照实质上垂直的方向被传送到检测部分10，并且，沿着该实质上垂直的方向，用放大器11进行检测。

公开(公告)号：CN1609623A

公开(公告)日：2005-04-27

申请号：CN200410084132.3

申请日：2004-10-25

Applicant: 三井金属矿业株式会社

Inventor： 山本昌彦 ,  幸山佳弘 ,  藤野契

IPC: G01R31/00 ,  G01R31/02 ,  H01L21/66

Abstract: 本发明涉及一种安装电子元件用薄膜载带的电气检查装置及安装电子元件用薄膜载带的电气检查方法，即使对于因缺陷而可能产生断路的配线，也可以进行连续并且检查精度高的导通测试等的电气检查。安装电子元件用薄膜载带(12)具有强制折叠弯曲部(14)和电气检查部(16)。其中强制折叠弯曲部(14)包括，强制折叠弯曲的强制折叠弯曲装置(18)；电气检查部(16)设置在强制折叠弯曲部(14)的下游方向，以一对探针接触安装电子元件用薄膜载带(12)的配线图案，从而检查出配线图案导通状态。