公开(公告)号：CN1658378A

公开(公告)日：2005-08-24

申请号：CN200510007774.8

申请日：2005-02-17

Applicant: 三井金属矿业株式会社

Inventor： 山本昌彦 ,  幸山佳弘 ,  野藤幸雄 ,  小林清人

IPC: H01L21/60 ,  H01L21/66

CPC classification number: H01L21/67288 ,  G01N21/86 ,  G01N21/8803 ,  H01L21/67132

Abstract: 本发明的检测设备和方法能够使得检测者以自然坐姿进行对安装电子元件的薄膜载带的目视检查而与放大器的放大倍率无关。该检测设备紧凑从而可以有效地利用在检测室里面的空间。该检测设备包括相互邻近的供带盘3和卷带盘7，和一个检测部分10，该检测部分被安置以使得相邻的供带和卷带盘是按照相对于检测部分10的供带盘和卷带盘的顺序。来自供带盘的薄膜载带T按照实质上垂直的方向被传送到检测部分10，并且，沿着该实质上垂直的方向，用放大器11进行检测。