公开(公告)号：CN114630921B

公开(公告)日：2024-10-01

申请号：CN202080076435.8

申请日：2020-08-06

Applicant: 三井金属矿业株式会社

Inventor： 矢野智泰 ,  打田龙彦 ,  寺村享祐 ,  广藤贤太郎

IPC: C23C14/34

Abstract: 本发明涉及由层叠结构构成的间隙配置部件，提供不易因加热而发生层间剥离的新型的间隙配置部件。本发明的间隙配置部件的特征在于，其是在溅射靶的基材(简称为“基材”)的表面侧配置多个靶部件时，沿着相邻的靶部件之间的间隙、介于上述靶部件与基材之间的间隙配置部件，其中，上述间隙配置部件形成在厚度方向上层叠三层以上而成的多层结构，在靶部件侧的层(也称为“表面层”)与基材侧的层(也称为“背面层”)之间具有中间层，构成上述中间层的材料的线膨胀系数在构成上述表面层的材料的线膨胀系数与构成上述背面层的材料的线膨胀系数之间的范围内。

公开(公告)号：CN118159686A

公开(公告)日：2024-06-07

申请号：CN202380014136.5

申请日：2023-01-16

Applicant: 三井金属矿业株式会社

Inventor： 寺村享祐 ,  广藤贤太郎

IPC: C23C14/34 ,  C04B35/01 ,  C04B35/453

Abstract: 本发明的溅射靶为将多个溅射靶材利用接合材料接合于基材而形成的溅射靶，所述溅射靶材由包含铟(In)元素、锌(Zn)元素及添加元素(X)的氧化物制成，添加元素(X)包含选自钽(Ta)及铌(Nb)中的至少1种元素，各元素的原子比满足规定的关系式，所述溅射靶具有配置在形成于所述多个溅射靶材间的间隙中的基材保护构件。

公开(公告)号：CN114630921A

公开(公告)日：2022-06-14

申请号：CN202080076435.8

申请日：2020-08-06

Applicant: 三井金属矿业株式会社

Inventor： 矢野智泰 ,  打田龙彦 ,  寺村享祐 ,  广藤贤太郎

IPC: C23C14/34

Abstract: 本发明涉及由层叠结构构成的间隙配置部件，提供不易因加热而发生层间剥离的新型的间隙配置部件。本发明的间隙配置部件的特征在于，其是在溅射靶的基材(简称为“基材”)的表面侧配置多个靶部件时，沿着相邻的靶部件之间的间隙、介于上述靶部件与基材之间的间隙配置部件，其中，上述间隙配置部件形成在厚度方向上层叠三层以上而成的多层结构，在靶部件侧的层(也称为“表面层”)与基材侧的层(也称为“背面层”)之间具有中间层，构成上述中间层的材料的线膨胀系数在构成上述表面层的材料的线膨胀系数与构成上述背面层的材料的线膨胀系数之间的范围内。