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公开(公告)号：CN103855084A
公开(公告)日：2014-06-11
申请号：CN201310267705.5
申请日：2013-06-24
申请人： 三星显示有限公司
CPC分类号： H01L51/0005 , H01L27/3211 , H01L51/5088 , H01L51/56 , H01L2227/323
摘要： 一种制造有机发光显示装置的方法包括制备具有像素电极和暴露所述像素电极的像素限定层的基板，在所述基板上形成空穴注入层（HIL）以覆盖所述像素电极和所述像素限定层，在所述HIL上形成底层，图案化所述底层以留下与所述像素电极的至少一部分相对应的区域，去除所述HIL的一部分以暴露所述基板的外围部，以及形成对电极以覆盖所述HIL和所述基板的所述外围部。
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公开(公告)号：CN105895568B
公开(公告)日：2021-03-09
申请号：CN201610011946.7
申请日：2016-01-08
申请人： 三星显示有限公司
IPC分类号： H01L21/677
摘要： 公开了一种用于制造显示装置的设备，所述设备包括：装载室，构造成从外部接收基板；传送室，连接到装载室并且包括构造成输送基板的机械手臂；沉积室，连接到传送室并且构造成在基板从传送室输送到沉积室之后将沉积材料沉积到基板上；掩模供给室，连接到沉积室并构造成向沉积室供给堆叠在掩模供给室中的多个掩模中的一个；以及站，连接到掩模供给室并且构造成向掩模供给室逐个地供给所述多个掩模。
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公开(公告)号：CN103811678B
公开(公告)日：2017-07-21
申请号：CN201310217321.2
申请日：2013-06-03
申请人： 三星显示有限公司
IPC分类号： H01L51/56
CPC分类号： H01J37/32366 , H01J37/3244
摘要： 公开了薄膜形成装置和采用该装置的薄膜形成方法。所公开的薄膜形成装置包括：形成有阻断部和开放部的掩模板；以及通过该掩模板的开放部喷射蚀刻气体、以与图案相对应地蚀刻薄膜的蚀刻源；在掩模板设置有气体吹动器，其中，所述气体吹动器向开放部周围吹入气体以使得蚀刻气体不会渗透至与阻断部对应的薄膜区域。根据如上所述的构成，可以在准确地保护薄膜的正常残留区域的情况下进行准确的图案化，因此当采用上述装置或方法时，可以稳定产品的质量，并且提高生产效率。
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公开(公告)号：CN105895568A
公开(公告)日：2016-08-24
申请号：CN201610011946.7
申请日：2016-01-08
申请人： 三星显示有限公司
IPC分类号： H01L21/677
摘要： 公开了一种用于制造显示装置的设备，所述设备包括：装载室，构造成从外部接收基板；传送室，连接到装载室并且包括构造成输送基板的机械手臂；沉积室，连接到传送室并且构造成在基板从传送室输送到沉积室之后将沉积材料沉积到基板上；掩模供给室，连接到沉积室并构造成向沉积室供给堆叠在掩模供给室中的多个掩模中的一个；以及站，连接到掩模供给室并且构造成向掩模供给室逐个地供给所述多个掩模。
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公开(公告)号：CN103887321A
公开(公告)日：2014-06-25
申请号：CN201310418200.4
申请日：2013-09-13
申请人： 三星显示有限公司
CPC分类号： H01L51/5036 , H01L27/3211 , H01L27/3283 , H01L51/56 , H01L2227/323
摘要： 本发明提供一种发光显示装置及其制造方法。发光显示装置，包括：基板；第一电极，布置在基板上；第一绝缘薄膜，布置在基板上且包括暴露第一电极的一部分的第一开口；第二绝缘薄膜，布置在第一绝缘薄膜上且包括暴露第一开口的第二开口；发光层，包括发光材料，发光层布置在第一电极的暴露部分上，且还与第一绝缘薄膜接触；及第二电极，布置在发光层上，其中第一电极相对于发光材料的润湿和第一绝缘薄膜相对于发光材料的润湿之间的差异低于第一电极相对于发光材料的润湿和第二绝缘薄膜相对于发光材料的润湿之间的差异。
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公开(公告)号：CN103132015A
公开(公告)日：2013-06-05
申请号：CN201210387327.X
申请日：2012-10-12
申请人： 三星显示有限公司
CPC分类号： C23C16/4404 , B05C21/005 , C23C14/042 , C23C16/042 , G03F1/00 , H01F41/22 , H01L51/0011
摘要： 沉积掩模包括沉积掩模主体和涂层。掩模主体包括穿透掩模主体的多个狭缝。涂层涂覆于所述掩模主体的整个表面上。涂层由与掩模主体的材料不同的材料制成，并且其磁力强于掩模主体的磁力。狭缝中的每一个均具有开口区，并且涂层的厚度控制开口区的宽度。光刻处理被用来形成多个狭缝。
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公开(公告)号：CN103855084B
公开(公告)日：2017-10-20
申请号：CN201310267705.5
申请日：2013-06-24
申请人： 三星显示有限公司
CPC分类号： H01L51/0005 , H01L27/3211 , H01L51/5088 , H01L51/56
摘要： 一种制造有机发光显示装置的方法包括制备具有像素电极和暴露所述像素电极的像素限定层的基板，在所述基板上形成空穴注入层（HIL）以覆盖所述像素电极和所述像素限定层，在所述HIL上形成底层，图案化所述底层以留下与所述像素电极的至少一部分相对应的区域，去除所述HIL的一部分以暴露所述基板的外围部，以及形成对电极以覆盖所述HIL和所述基板的所述外围部。
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公开(公告)号：CN103811678A
公开(公告)日：2014-05-21
申请号：CN201310217321.2
申请日：2013-06-03
申请人： 三星显示有限公司
IPC分类号： H01L51/56
CPC分类号： H01J37/32366 , H01J37/3244
摘要： 本发明公开了薄膜形成装置和采用该装置的薄膜形成方法。所公开的薄膜形成装置包括：形成有阻断部和开放部的掩模板；以及通过该掩模板的开放部喷射蚀刻气体、以与图案相对应地蚀刻薄膜的蚀刻源；在掩模板设置有气体吹动器，其中，所述气体吹动器向开放部周围吹入气体以使得蚀刻气体不会渗透至与阻断部对应的薄膜区域。根据如上所述的构成，可以在准确地保护薄膜的正常残留区域的情况下进行准确的图案化，因此当采用上述装置或方法时，可以稳定产品的质量，并且提高生产效率。
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公开(公告)号：CN104120386B
公开(公告)日：2018-10-19
申请号：CN201410133769.0
申请日：2014-04-03
申请人： 三星显示有限公司
摘要： 一种沉积装置和制造有机发光二极管显示器的方法，该沉积装置包括：沉积室；多个基底支架，包括被配置为将基底维持在沉积室中的第一基底位置的第一支架和被配置为将另一基底维持在沉积室中的第二基底位置的第二支架；沉积源，被设置在沉积室中，并被配置为供应沉积材料以涂覆到放置在第一和第二基底位置的基底上；沉积源传送机构，被配置为在第一方向上移动沉积源以与第一和第二基底中的一个相对；以及基底传送机构，被配置为在第二方向上将基底传送到第一基底位置或者从第一基底位置传送，并进一步被配置为在第二方向上将另一基底传送到第二基底位置或者从第二基底位置传送。
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公开(公告)号：CN103572215B
公开(公告)日：2018-10-12
申请号：CN201310325675.9
申请日：2013-07-30
申请人： 三星显示有限公司
摘要： 根据本发明的蒸镀装置包括：多个蒸镀源，喷射蒸镀物质；基板固定部，将基板固定为与蒸镀源面对；蒸镀源挡板，布置在蒸镀源的一侧，并可开闭各个蒸镀源的入口；主挡板，布置在蒸镀源和固定于基板固定部的基板之间，并构成为使蒸镀物质的一部分穿过而蒸镀到基板。根据本发明的实施例，可有效率地掌握存在问题的蒸镀源而均匀地调整多个蒸镀源的蒸镀量。而且，通过准确地掌握存在问题的蒸镀源，可减少材料的损失。
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