制造离散轨道磁记录介质的方法

    公开(公告)号:CN102759853A

    公开(公告)日:2012-10-31

    申请号:CN201210192665.8

    申请日:2008-08-04

    IPC分类号: G03F7/00 G03F1/80 G11B5/84

    摘要: 本发明提供了一种制造离散轨道磁记录介质的方法。该制造离散轨道磁记录介质的方法包括以下步骤:(a)在基底上顺序地形成下层、记录层、光致抗蚀剂层和被图案化成第一图案的金属层,第一图案具有形成同心圆的线图案以预定间隔被重复布置的结构;(b)将光照射到金属层的表面上,以激发表面等离子体激元,使得表面等离子体激元传递的光能的分布使光致抗蚀剂层的位于金属层的图案之间的中部被曝光,以使光致抗蚀剂层被曝光成第二图案;(c)去除被图案化的金属层并对光致抗蚀剂层进行显影;(d)利用被图案化成第二图案的光致抗蚀剂层作为掩模来蚀刻记录层。

    纳米图案化方法及制造母板和离散轨道磁记录介质的方法

    公开(公告)号:CN101403854A

    公开(公告)日:2009-04-08

    申请号:CN200810145253.2

    申请日:2008-08-04

    IPC分类号: G03F7/00 G11B5/84

    摘要: 本发明提供了一种纳米图案化的方法和一种制造纳米压印母板和离散轨道磁记录介质的方法。该纳米图案化的方法包括以下步骤:(a)在基底上顺序地形成蚀刻目标材料层、光致抗蚀剂层和被图案化成第一图案的金属层,第一图案具有线图案以预定的间隔被重复布置的结构;(b)将光照射到金属层的表面上,以激发表面等离子体激元,使得光致抗蚀剂层通过表面等离子体激元被曝光成第二图案;(c)去除金属层并对光致抗蚀剂层进行显影;(d)利用被图案化成第二图案的光致抗蚀剂层作为掩模对蚀刻目标材料层进行蚀刻。

    双面压印光刻系统
    10.
    发明公开

    公开(公告)号:CN101377618A

    公开(公告)日:2009-03-04

    申请号:CN200810130342.X

    申请日:2008-07-11

    IPC分类号: G03F7/00 G03F7/20

    摘要: 本发明提供一种双面压印光刻系统,该双面压印光刻系统包括:介质支撑单元,支撑介质,其中,所述介质的两个表面涂覆有紫外(UV)硬化树脂;第一模具支撑单元和第二模具支撑单元,分别支撑第一模具和第二模具,并分别设置在介质支撑单元之上和之下;竖直运动装置,使介质支撑单元、第一模具支撑单元和第二模具支撑单元中的至少一个竖直地运动;第一UV照射装置,安装在第一模具支撑单元之上,以照射UV光线;第二UV照射装置,安装在第二模具支撑单元之下,以照射UV光线。