-
公开(公告)号:CN105821385B
公开(公告)日:2020-12-29
申请号:CN201510817454.2
申请日:2015-11-23
申请人: 三星电子株式会社
摘要: 提供了一种非晶和纳米氮化物复合薄膜、一种用于形成其的方法和一种具有其的电子装置。所述非晶和纳米氮化物复合薄膜具有复合结构,在复合结构中,包括作为氮化物构成元素的Zr和Al的氮化物相与至少一种金属相混合,其中,金属相包括从包括Cu和Ni的组中选择的至少一种元素,所述氮化物相包括晶粒尺寸在10nm至500nm的范围内的ZrN结晶相,所述ZrN结晶相的体积分数是10%或更多。
-
-
公开(公告)号:CN105821385A
公开(公告)日:2016-08-03
申请号:CN201510817454.2
申请日:2015-11-23
申请人: 三星电子株式会社
CPC分类号: C23C14/0641 , C23C14/0688 , C23C14/3414 , C23C14/0036
摘要: 提供了一种非晶和纳米氮化物复合薄膜、一种用于形成其的方法和一种具有其的电子装置。所述非晶和纳米氮化物复合薄膜具有复合结构,在复合结构中,包括作为氮化物构成元素的Zr和Al的氮化物相与至少一种金属相混合,其中,金属相包括从包括Cu和Ni的组中选择的至少一种元素,所述氮化物相包括晶粒尺寸在10nm至500nm的范围内的ZrN结晶相,所述ZrN结晶相的体积分数是10%或更多。
-
-
-