公开(公告)号：CN102456852A

公开(公告)日：2012-05-16

申请号：CN201110328681.0

申请日：2011-10-21

Applicant: 三星移动显示器株式会社

Inventor： 瓦列里·布鲁辛斯奇 ,  林·卡普兰 ,  郑世呼 ,  玄元植 ,  罗兴烈 ,  朴庆太 ,  郑炳成 ,  崔镕燮

IPC: H01L51/56 ,  C23C14/12

CPC classification number: C23C14/042 ,  C23C14/12 ,  C23C14/243 ,  C23C14/50 ,  C23C14/568 ,  H01L51/56

Abstract: 本发明提供了一种有机层沉积设备和一种使用该有机层沉积设备制造有机发光显示装置的方法。所述有机层沉积设备包括静电夹盘，所述静电夹盘与基底组合，以固定地支撑所述基底。所述有机层沉积设备包括：用于容纳所述基底的具有设定的曲率的容纳表面；沉积源，用于朝向所述基底排放沉积材料；沉积源喷嘴单元，设置在所述沉积源的一侧，并包括沿第一方向布置的多个沉积源喷嘴；图案化狭缝片，被设置为面向所述沉积源喷嘴单元，并具有沿垂直于所述第一方向的第二方向布置的多个图案化狭缝，其中，所述图案化狭缝片在由沿所述第二方向和第三方向延伸的线形成的平面上的剖面弯曲设定的程度，其中，所述第三方向垂直于所述第一方向和所述第二方向。