公开(公告)号：CN101997090A

公开(公告)日：2011-03-30

申请号：CN201010248429.4

申请日：2010-08-05

Applicant: 三星移动显示器株式会社

Inventor： 吴枝淑 ,  崔镕燮 ,  金钟宪 ,  康熙哲 ,  李润美 ,  曹昌睦

IPC: H01L51/56 ,  H01L51/50

CPC classification number: H01L51/001 ,  C23C14/042 ,  C23C14/12 ,  C23C14/243 ,  H01L27/3211 ,  H01L51/0011 ,  H01L51/56

Abstract: 本发明提供一种薄膜沉积设备和利用该薄膜沉积设备制造有机发光显示装置的方法。薄膜沉积设备包括多个薄膜沉积组件，每个薄膜沉积组件包括：沉积源，排放沉积材料；沉积源喷嘴单元，设置在沉积源的一侧，并包括多个沉积源喷嘴；图案化缝隙片，设置为面对沉积源喷嘴单元，并包括沿第一方向布置的多个图案化缝隙；障碍板组件，设置在沉积源喷嘴单元和图案化缝隙片之间。障碍板组件包括将沉积源喷嘴单元和图案化缝隙片之间的空间划分为多个子沉积空间的多个障碍板。

公开(公告)号：CN102005541A

公开(公告)日：2011-04-06

申请号：CN201010266406.6

申请日：2010-08-27

Applicant: 三星移动显示器株式会社

Inventor： 赵昌睦 ,  金钟宪 ,  崔镕燮 ,  金相洙 ,  姜熙哲 ,  崔永默

IPC: H01L51/56 ,  H01L27/32 ,  H01L21/82

CPC classification number: H01L33/005 ,  C23C14/042 ,  C23C14/12 ,  C23C14/243 ,  C23C14/246 ,  C23C14/568 ,  H01L21/67173 ,  H01L21/67225 ,  H01L21/67236 ,  H01L21/6831 ,  H01L27/3211 ,  H01L51/001 ,  H01L51/0011 ,  H01L51/56

Abstract: 本发明公开了一种用来大规模地制造大基底并能够具有高清晰度图案化的薄膜沉积设备和一种使用该薄膜沉积设备制造有机发光显示设备的方法，所述薄膜沉积设备包括：装载单元，将基底固定到静电吸盘上；沉积单元，包括保持在真空状态的室和设置在室中的薄膜沉积组件，用来将薄膜沉积在固定于静电吸盘上的基底上，薄膜沉积组件与基底分开预定的距离；卸载单元，将完成了沉积工艺的基底与静电吸盘分离；第一循环单元，将固定有基底的静电吸盘顺序地移动到装载单元、沉积单元和卸载单元；第二循环单元，将与基底分离的静电吸盘从卸载单元返回到装载单元，其中，第一循环单元在穿过沉积单元时穿过室。

公开(公告)号：CN102456852A

公开(公告)日：2012-05-16

申请号：CN201110328681.0

申请日：2011-10-21

Applicant: 三星移动显示器株式会社

Inventor： 瓦列里·布鲁辛斯奇 ,  林·卡普兰 ,  郑世呼 ,  玄元植 ,  罗兴烈 ,  朴庆太 ,  郑炳成 ,  崔镕燮

IPC: H01L51/56 ,  C23C14/12

CPC classification number: C23C14/042 ,  C23C14/12 ,  C23C14/243 ,  C23C14/50 ,  C23C14/568 ,  H01L51/56

Abstract: 本发明提供了一种有机层沉积设备和一种使用该有机层沉积设备制造有机发光显示装置的方法。所述有机层沉积设备包括静电夹盘，所述静电夹盘与基底组合，以固定地支撑所述基底。所述有机层沉积设备包括：用于容纳所述基底的具有设定的曲率的容纳表面；沉积源，用于朝向所述基底排放沉积材料；沉积源喷嘴单元，设置在所述沉积源的一侧，并包括沿第一方向布置的多个沉积源喷嘴；图案化狭缝片，被设置为面向所述沉积源喷嘴单元，并具有沿垂直于所述第一方向的第二方向布置的多个图案化狭缝，其中，所述图案化狭缝片在由沿所述第二方向和第三方向延伸的线形成的平面上的剖面弯曲设定的程度，其中，所述第三方向垂直于所述第一方向和所述第二方向。

公开(公告)号：CN102127748A

公开(公告)日：2011-07-20

申请号：CN201110029291.3

申请日：2011-01-11

Applicant: 三星移动显示器株式会社

Inventor： 朴铉淑 ,  曹昌睦 ,  康熙哲 ,  李润美 ,  成沄澈 ,  崔镕燮 ,  金钟宪 ,  柳在光

IPC: C23C16/04 ,  C23C16/455 ,  C23C16/52

CPC classification number: C23C14/24 ,  C23C14/042 ,  H01L51/001

Abstract: 本发明公开了一种薄膜沉积设备，所述薄膜沉积设备可被简单应用于大规模生产大尺寸显示装置并提高生产率。薄膜沉积设备包括：沉积源，排出沉积材料；沉积源喷嘴单元，设置在沉积源的一侧并包括沿第一方向布置的多个沉积源喷嘴；图案化缝隙片，被设置成与所述沉积源喷嘴单元相对，所述图案化缝隙片包括沿与第一方向垂直的第二方向布置的多个图案化缝隙。在基底或者薄膜沉积设备沿第一方向彼此相对移动的同时执行沉积，沉积源、沉积源喷嘴单元和图案化缝隙片彼此一体地形成。