公开(公告)号：CN102134707A

公开(公告)日：2011-07-27

申请号：CN201010569824.2

申请日：2010-11-30

Applicant: 三星移动显示器株式会社

Inventor： 郑石源 ,  崔丞镐 ,  李康逸 ,  宋贤根 ,  卢喆来

IPC: C23C16/448 ,  C23C16/455

CPC classification number: C23C14/243 ,  C23C14/24 ,  H01L51/001 ,  H01L51/56

Abstract: 本发明提供了一种沉积源、一种具有该沉积源的沉积装置和一种形成薄膜的方法。所述沉积源包括：第一沉积源部分，所述第一沉积源部分被构造为储存沉积材料；第二沉积源部分，所述第二沉积源部分与所述第一沉积源部分分离，并被构造为储存所述沉积材料，所述第一沉积源部分和所述第二沉积源部分被构造为在加热或冷却所述沉积材料时交替地提供所述沉积材料；供给部分，被构造为从所述第一沉积源部分和所述第二沉积源部分接收蒸发的沉积材料；喷嘴部分，被构造为从所述供给部分接收所述沉积材料。