公开(公告)号：CN102134707A

公开(公告)日：2011-07-27

申请号：CN201010569824.2

申请日：2010-11-30

Applicant: 三星移动显示器株式会社

Inventor： 郑石源 ,  崔丞镐 ,  李康逸 ,  宋贤根 ,  卢喆来

IPC: C23C16/448 ,  C23C16/455

CPC classification number: C23C14/243 ,  C23C14/24 ,  H01L51/001 ,  H01L51/56

Abstract: 本发明提供了一种沉积源、一种具有该沉积源的沉积装置和一种形成薄膜的方法。所述沉积源包括：第一沉积源部分，所述第一沉积源部分被构造为储存沉积材料；第二沉积源部分，所述第二沉积源部分与所述第一沉积源部分分离，并被构造为储存所述沉积材料，所述第一沉积源部分和所述第二沉积源部分被构造为在加热或冷却所述沉积材料时交替地提供所述沉积材料；供给部分，被构造为从所述第一沉积源部分和所述第二沉积源部分接收蒸发的沉积材料；喷嘴部分，被构造为从所述供给部分接收所述沉积材料。

公开(公告)号：CN102121095A

公开(公告)日：2011-07-13

申请号：CN201010260204.0

申请日：2010-08-20

Applicant: 三星移动显示器株式会社

Inventor： 崔丞镐 ,  郑石源 ,  崔永默 ,  宋贤根

IPC: C23C14/35

CPC classification number: C23C14/352 ,  H01J37/32449 ,  H01J37/3405 ,  H01J37/3417 ,  H01J37/345 ,  H01J37/347

Abstract: 公开了一种溅射系统，其包括第一和第二溅射单元、第一和第二气体供应管、第一和第二基底支撑单元。第一溅射单元包括：彼此面对的第一和第二沉积材料板；磁场产生器，位于第一和第二沉积材料板的后面。第二溅射单元包括：第三沉积材料板，靠近第一沉积材料板；第四沉积材料板，靠近第二沉积材料板，面对第三沉积材料板；磁场产生器，位于第三和第四沉积材料板的后面。第一气体供应管位于第一和第三沉积材料板之间，将气体排放到第二和第四沉积材料板。第二气体供应管位于第二和第四沉积材料板之间，将气体排放到第一和第三沉积材料板。第一基底支撑单元朝向第一和第二沉积材料板的外边缘。第二基底支撑单元朝向第三和第四沉积材料板的外边缘。