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公开(公告)号：CN102121095A
公开(公告)日：2011-07-13
申请号：CN201010260204.0
申请日：2010-08-20
Applicant: 三星移动显示器株式会社
IPC: C23C14/35
CPC classification number: C23C14/352 , H01J37/32449 , H01J37/3405 , H01J37/3417 , H01J37/345 , H01J37/347
Abstract: 公开了一种溅射系统，其包括第一和第二溅射单元、第一和第二气体供应管、第一和第二基底支撑单元。第一溅射单元包括：彼此面对的第一和第二沉积材料板；磁场产生器，位于第一和第二沉积材料板的后面。第二溅射单元包括：第三沉积材料板，靠近第一沉积材料板；第四沉积材料板，靠近第二沉积材料板，面对第三沉积材料板；磁场产生器，位于第三和第四沉积材料板的后面。第一气体供应管位于第一和第三沉积材料板之间，将气体排放到第二和第四沉积材料板。第二气体供应管位于第二和第四沉积材料板之间，将气体排放到第一和第三沉积材料板。第一基底支撑单元朝向第一和第二沉积材料板的外边缘。第二基底支撑单元朝向第三和第四沉积材料板的外边缘。
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公开(公告)号：CN102102176A
公开(公告)日：2011-06-22
申请号：CN201010601150.X
申请日：2010-12-17
Applicant: 三星移动显示器株式会社
CPC classification number: H01L51/0008 , C23C14/243 , H01L51/56
Abstract: 本发明公开了一种蒸发源。在一个实施例中，蒸发源包括：i)熔罐，在其一侧是敞开的并被构造为储存沉积材料；ii)喷嘴部分，位于熔罐的敞开侧上并包括多个喷嘴，其中，每个喷嘴具有被构造为喷射穿过喷嘴的沉积材料的侧壁，侧壁具有倾斜部分。蒸发源还包括：i)加热器，被构造为加热熔罐；ii)外壳，被构造为容纳熔罐、喷嘴部分和加热器，其中，喷嘴部分具有小于大约60°的最大喷射角。
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公开(公告)号：CN102134707A
公开(公告)日：2011-07-27
申请号：CN201010569824.2
申请日：2010-11-30
Applicant: 三星移动显示器株式会社
IPC: C23C16/448 , C23C16/455
CPC classification number: C23C14/243 , C23C14/24 , H01L51/001 , H01L51/56
Abstract: 本发明提供了一种沉积源、一种具有该沉积源的沉积装置和一种形成薄膜的方法。所述沉积源包括：第一沉积源部分，所述第一沉积源部分被构造为储存沉积材料；第二沉积源部分，所述第二沉积源部分与所述第一沉积源部分分离，并被构造为储存所述沉积材料，所述第一沉积源部分和所述第二沉积源部分被构造为在加热或冷却所述沉积材料时交替地提供所述沉积材料；供给部分，被构造为从所述第一沉积源部分和所述第二沉积源部分接收蒸发的沉积材料；喷嘴部分，被构造为从所述供给部分接收所述沉积材料。
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公开(公告)号：CN102094167A
公开(公告)日：2011-06-15
申请号：CN201010589194.5
申请日：2010-12-10
Applicant: 三星移动显示器株式会社
CPC classification number: B23K26/402 , B23K26/032 , B23K26/066 , B23K26/0661 , B23K26/702 , B23K2103/50 , H01L51/0011
Abstract: 本发明提供了一种用于蒸发的掩模以及一种用于制造该掩模的方法和装置。该掩模包括第一分离掩模和第二分离掩模。第一分离掩模和第二分离掩模通过焊接彼此直接结合，由此在第一分离掩模和第二分离掩模之间形成焊接部分。根据实施例的分离掩模不使用子框架，并且通过焊接彼此直接结合，从而不发生阴影效应。用于制造用于蒸发的掩模的装置包括：工作台；夹具，将第一分离掩模和第二分离掩模固定到工作台；激光焊接部分，将第一分离掩模焊接到第二分离掩模。所述装置还可以包括引导激光焊接部分的第一辊和跟随激光焊接部分的第二辊。
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