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公开(公告)号：CN101655315B
公开(公告)日：2011-10-12
申请号：CN200910009757.6
申请日：2009-02-02
Applicant: 三星移动显示器株式会社
CPC classification number: C23C14/243
Abstract: 一种内板和具有该内板的用于沉积的坩埚组件。该坩埚组件包括：主体，具有容纳沉积材料的内部空间和布置在所述内部空间的上部的开口；盖子，具有布置在所述盖子的顶部的孔，所述盖子与所述主体结合；内板，布置在所述主体和所述盖子之间，所述内板遮盖所述主体的开口，坩埚组件包括内部通道，所述内部通道被布置成允许沉积材料的蒸汽经设置在内板的外侧表面和所述盖子的内侧表面之间的空间从主体的内部空间排出到所述盖子中的孔的外部。
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公开(公告)号：CN102148234A
公开(公告)日：2011-08-10
申请号：CN201010599753.0
申请日：2010-12-14
Applicant: 三星移动显示器株式会社
CPC classification number: C23C14/042 , C23C14/50 , H01L51/56
Abstract: 本公开提供一种薄膜沉积装置及制造有机发光显示设备的方法。所述薄膜沉积装置可以去除基板与掩膜之间产生的静电，并且所述方法用于利用该薄膜沉积装置制造有机发光显示设备。
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公开(公告)号：CN101655315A
公开(公告)日：2010-02-24
申请号：CN200910009757.6
申请日：2009-02-02
Applicant: 三星移动显示器株式会社
CPC classification number: C23C14/243
Abstract: 一种内板和具有该内板的用于沉积的坩埚组件。该坩埚组件包括：主体，具有容纳沉积材料的内部空间和布置在所述内部空间的上部的开口；盖子，具有布置在所述盖子的顶部的孔，所述盖子与所述主体结合；内板，布置在所述主体和所述盖子之间，所述内板遮盖所述主体的开口，坩埚组件包括内部通道，所述内部通道被布置成允许沉积材料的蒸汽经设置在内板的外侧表面和所述盖子的内侧表面之间的空间从主体的内部空间排出到所述盖子中的孔的外部。
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