公开(公告)号：CN102766841A

公开(公告)日：2012-11-07

申请号：CN201210005289.7

申请日：2012-01-06

Applicant: 三星移动显示器株式会社

Inventor： 洪宰敏

IPC: C23C14/04

CPC classification number: C23C16/042 ,  C23C14/042 ,  Y10T29/49826

Abstract: 本发明公开了一种用于薄膜沉积的掩模框架组件及其制造方法，可用安装在框架上同时彼此交叉的支撑条和多个棒形拼合掩模来构造该掩模框架组件。通过在支撑条与多个拼合掩模交叉的点处彼此焊接支撑条和拼合掩模而将支撑条和拼合掩模彼此固定，并通过切除拼合掩模的部分，在每个焊点的周围形成局部切除部分。增强了拼合掩模与基底之间的附着，并通过使用支撑条，防止了拼合掩模下垂。

公开(公告)号：CN102760842A

公开(公告)日：2012-10-31

申请号：CN201210037878.3

申请日：2012-02-17

Applicant: 三星移动显示器株式会社

Inventor： 洪宰敏

IPC: H01L51/56

CPC classification number: B05C21/005 ,  C23C14/04 ,  C23C14/042 ,  C23C14/044 ,  C23C14/12 ,  H01L51/56

Abstract: 本发明公开了一种用于将沉积材料沉积在沉积基底上的掩模框架组件，该掩模框架组件包括：掩模框架，包括开口和围绕开口的多个框架；以及掩模，结合在掩模框架上。防变形单元形成在掩模的至少一个区域上。由于防变形单元形成在掩模中的沉积图案的外围部分上，所以可以减小掩模沿垂直方向的变形。因此，可以减少掩模与基底的有缺陷附着。

公开(公告)号：CN102201550A

公开(公告)日：2011-09-28

申请号：CN201110069548.8

申请日：2011-03-17

Applicant: 三星移动显示器株式会社

Inventor： 洪宰敏 ,  金京汉

IPC: H01L51/56 ,  C23C14/04 ,  C23C16/04 ,  C30B25/04 ,  C30B23/04

CPC classification number: H01L51/0011 ,  H01L51/50

Abstract: 本发明涉及单元掩膜、掩膜组件和制造显示设备的方法。所述掩模组件包括：框架，包括开口部件；和单元掩模，其在沿一个方向施加拉力的状态下布置在所述开口上并且使所述单元掩模中的每一个的两个端部由所述框架支撑，所述单元掩模中的每一个包括：图案开口部件，沿所述一个方向布置；以及第一槽，布置成与所述图案部件相邻并且在所述图案开口部件与所述单元掩模的边缘之间，并且形成为从所述单元掩模的表面被压低。