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公开(公告)号：CN105940140B
公开(公告)日：2018-04-20
申请号：CN201480074226.4
申请日：2014-11-28
申请人： 夏普株式会社
CPC分类号： H01L51/0002 , C23C14/042 , C23C14/044 , C23C14/12 , C23C14/24 , C23C14/546 , C23C16/455 , C23C16/50 , H01L51/0008 , H01L51/5012 , H01L51/56
摘要： 本发明提供在整个蒸镀区域中基板上的蒸镀率的控制精度优异的蒸镀装置、蒸镀方法和有机电致发光元件的制造方法。本发明提供在基板上形成膜的蒸镀装置，上述蒸镀装置包括第一膜厚监视部和包含蒸镀源的蒸镀单元，并且，一边基于上述第一膜厚监视部的测定结果，控制从上述蒸镀源放出气化后的材料的部分与上述基板的被蒸镀的表面之间的距离，一边进行蒸镀。
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公开(公告)号：CN105177510B
公开(公告)日：2018-04-03
申请号：CN201510688878.3
申请日：2015-10-21
申请人： 京东方科技集团股份有限公司 , 合肥鑫晟光电科技有限公司
IPC分类号： C23C14/24
CPC分类号： C23C14/243 , C23C14/042 , C23C14/044 , C23C14/24 , C23C14/542 , C23C14/548 , H01L51/001
摘要： 本发明是关于一种蒸镀设备及蒸镀方法，属于真空蒸镀技术领域。所述蒸镀设备包括：基板、蒸镀腔及波纹管；所述蒸镀腔内设置有蒸镀源，所述蒸镀腔的侧壁设置有两个限制板；所述基板设置于所述蒸镀源的正上方，所述波纹管设置于所述蒸镀腔的底部。本发明在蒸镀腔的底部设置波纹管，通过波纹管的转动带动蒸镀腔上下移动，从而改变蒸镀源与限制板之间的相对高度，无需对蒸镀设备进行改造，即可满足不同有机材料的蒸镀条件，不仅明显地提高了设备灵活性，而且节省了时间及资源消耗。
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公开(公告)号：CN107779815A
公开(公告)日：2018-03-09
申请号：CN201710670858.2
申请日：2017-08-08
CPC分类号： B32B5/028 , B05D1/36 , B05D3/12 , B05D5/08 , B05D7/51 , B41N1/006 , C09D5/00 , C09D7/70 , C10M103/02 , C10M103/04 , C10M103/06 , C10M177/00 , C10M2201/0413 , C10M2201/053 , C10M2201/0603 , C10M2201/0613 , C10N2230/06 , C10N2250/141 , C10N2270/00 , C23C14/024 , C23C14/042 , C23C14/044 , C23C16/042 , C23C14/0605 , C23C14/0641 , C23C16/26 , C23C16/34
摘要： 本发明涉及用于涂布车辆运转部件的表面的方法以及通过该方法制造的车辆运转部件。所述用于涂布车辆运转部件的表面的方法可以包括：涂布准备过程，其将具有多个网格的筛网设置成根据预定的间隔距离与待涂布的车辆运转部件的表面隔开；以及涂层沉积过程，其通过真空沉积方式形成具有以下图案的涂层，所述图案具有使对应于网格形状的多个压纹在车辆运转部件的表面上重复的形状，从而使得相邻的压纹彼此连接的涂层形成。
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公开(公告)号：CN107250423A
公开(公告)日：2017-10-13
申请号：CN201680010578.2
申请日：2016-02-18
申请人： 夏普株式会社
CPC分类号： C23C4/134 , C23C14/042 , C23C14/044 , C23C14/24 , H01L21/203 , H01L51/50 , H01L2221/1052 , H01L2221/1068 , H01L2221/1042 , H01L2924/00014
摘要： 本发明提供一种蒸镀单元(1)，包含：蒸镀掩膜(10)、具有限制板(22)的限制板单元(20)及蒸镀源(30)。蒸镀源(30)俯视时具有：分别设置在限制板(22)间的限制板开口(23)间的用于蒸镀颗粒射出的多个第一开口部(31)及设置在不与限制限制板开口(23)相对的位置的至少一个用于泄压的第二开口部(32)。
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公开(公告)号：CN103340013B
公开(公告)日：2016-06-22
申请号：CN201280007201.3
申请日：2012-03-02
申请人： 夏普株式会社
CPC分类号： H01L51/56 , C23C14/044 , C23C14/12 , C23C14/562 , C23C16/45578 , H01L51/0011
摘要： 具备：蒸镀源（60），该蒸镀源（60）具备放出蒸镀颗粒（91）的多个蒸镀源开口（61）；限制单元（80），该限制单元（80）具备多个限制开口（82）；和蒸镀掩模（70），该蒸镀掩模（70）仅在分别通过多个限制开口的蒸镀颗粒到达的多个蒸镀区域（72）内形成有多个掩模开口（71）。多个蒸镀区域，沿与基板（10）的法线方向和基板的移动方向正交的第二方向，夹着蒸镀颗粒不到达的非蒸镀区域（73）配置。在沿基板的法线方向看时，相对于与第二方向平行的直线上的非蒸镀区域，在基板的移动方向上的不同位置，形成有蒸镀颗粒通过的掩模开口。由此，能够在基板上的期望的位置稳定地形成端缘的模糊被抑制的蒸镀覆膜。
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公开(公告)号：CN104914486A
公开(公告)日：2015-09-16
申请号：CN201510096973.4
申请日：2015-03-04
申请人： 精工爱普生株式会社
CPC分类号： G02B5/286 , C03C17/00 , C03C17/245 , C03C17/3417 , C03C2217/734 , C03C2218/31 , C03C2218/34 , C23C14/0031 , C23C14/044
摘要： 本发明提供光学部件、光学部件的制造方法、电子设备和移动体，防止成膜时产生的残留应力的急剧释放而导致的膜的剥离，防止光学信号的漫反射等而导致的光学特性的下降。作为光学部件的光学多层膜滤光片(10)具有：作为光学用的基板的玻璃基板(11)；以及作为设置在玻璃基板(11)上的膜的无机薄膜(2)，无机薄膜(2)具有第1区域(12)和第2区域(15)，其中，第2区域(15)围着第1区域(12)，从第1区域(12)起连续地延伸，在第2区域(15)中，无机薄膜(2)的厚度随着从第2区域(15)的外周缘(16)朝向与第1区域(12)的边界(14)而增加。
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公开(公告)号：CN103443324B
公开(公告)日：2015-09-02
申请号：CN201280015418.9
申请日：2012-02-15
申请人： 松下电器产业株式会社
发明人： 山本昌裕
CPC分类号： C23C14/34 , C23C14/044 , C23C14/046 , C23C14/225 , C23C14/35 , H01J37/3408
摘要： 本发明的成膜装置包括：真空腔（100）；基板保持件（5），该基板保持件（5）在真空腔（100）中保持基板（6）；靶材（2），该靶材（2）保持有成膜材料，且具有相对于基板（6）的主面倾斜的主面；以及角度修正板（12），该角度修正板（12）在由将靶材（2）的主面的外周与基板的主面的外周相连的线段（31、32）包围的空间区域（30）之外，并设置成覆盖基板的主面的上部空间，从真空腔（100）的正面观察，将基板的主面上的任意点设作Ｂ，将靶材（2）的主面上的至少中央处的点设作Ｃ时，从各个点Ｂ开始的相对于将各个点Ｂ与点Ｃ相连的各线成45度的各线上，存在有角度修正板（12）的主面上的至少一部分，角度修正板（12）的主面上的其它部分在与靶材(2)相反一侧延伸。
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公开(公告)号：CN102834541B
公开(公告)日：2014-07-09
申请号：CN201180015261.5
申请日：2011-02-10
申请人： 夏普株式会社
CPC分类号： H05B33/10 , C23C14/042 , C23C14/044 , C23C14/12 , C23C14/225 , C23C14/24 , H01L27/3211 , H01L51/0011 , H01L51/56
摘要： 本发明提供在有机EL显示器用的基板（10）上按规定的图案形成薄膜（3）的蒸镀装置（50）。在掩模（60）与放射蒸镀颗粒的蒸镀源（53）之间配置有第一校正板（81）和第二校正板（82）。各校正板（81、82）分别具有多个叶片板（83）和支承它们的框（84）。各叶片板（83）在相对于掩模（60）倾斜的状态下，以从与掩模（60）正交的方向来看，在与相邻的叶片板（83）之间隔着开口（86）相互平行地延伸的方式配置。
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公开(公告)号：CN102834541A
公开(公告)日：2012-12-19
申请号：CN201180015261.5
申请日：2011-02-10
申请人： 夏普株式会社
CPC分类号： H05B33/10 , C23C14/042 , C23C14/044 , C23C14/12 , C23C14/225 , C23C14/24 , H01L27/3211 , H01L51/0011 , H01L51/56
摘要： 本发明提供在有机EL显示器用的基板（10）上按规定的图案形成薄膜（3）的蒸镀装置（50）。在掩模（60）与放射蒸镀颗粒的蒸镀源（53）之间配置有第一校正板（81）和第二校正板（82）。各校正板（81、82）分别具有多个叶片板（83）和支承它们的框（84）。各叶片板（83）在相对于掩模（60）倾斜的状态下，以从与掩模（60）正交的方向来看，在与相邻的叶片板（83）之间隔着开口（86）相互平行地延伸的方式配置。
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公开(公告)号：CN102272345A
公开(公告)日：2011-12-07
申请号：CN200980154067.8
申请日：2009-12-12
申请人： 宝马股份公司
CPC分类号： C23C14/04 , C23C14/044 , C23C14/505
摘要： 本发明涉及一种对具有对称齿形的构件的功能面、尤其是齿轮(1)的齿面(3)进行涂覆的方法和装置，包括向构件方向发射带电粒子形式的涂覆物质并且相对所述构件回转的涂覆源(2)，根据本发明，以工艺上简单的方式实现了高质量的构件功能面涂覆，即，在构件(1)和涂覆源(2)之间的射束行程中横向于射束方向设置一个在功能面相对于射束方向缓斜定向的回转区域内将所述构件遮蔽而挡住涂覆射束的挡板(4)。
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