公开(公告)号：CN101667529A

公开(公告)日：2010-03-10

申请号：CN200910170990.2

申请日：2009-08-31

Applicant: 三星移动显示器株式会社

Inventor： 成栋永 ,  金汞律

IPC: H01L21/00 ,  H01L51/56 ,  H01L21/312

CPC classification number: H01L51/0011 ,  B05B12/20 ,  C23C14/042 ,  C23C16/042 ,  C23C18/1605 ,  C30B25/04 ,  H01L51/5012

Abstract: 本发明提供了一种用于薄膜沉积的掩模及制造OLED的方法。本发明公开了在形成有机发光装置中的有机薄膜或导电层中使用的用于薄膜沉积的掩模。在一个实施例中，掩模包括：i)底构件；ii)多个狭缝，构造为穿透底构件，其中多个狭缝具有预定长度并沿第一方向延伸，其中多个狭缝包括置于第二方向最外面的最外狭缝，第二方向相对于第一方向具有预定角度，其中最外狭缝包括两个彼此分离的子狭缝；以及iii)肋支撑部件，形成在两个子狭缝之间并与两个子狭缝接触，其中肋支撑构件从与最外狭缝相邻的肋延伸。

公开(公告)号：CN101667529B

公开(公告)日：2012-09-05

申请号：CN200910170990.2

申请日：2009-08-31

Applicant: 三星移动显示器株式会社

Inventor： 成栋永 ,  金汞律

IPC: H01L21/00 ,  H01L51/56 ,  H01L21/312

CPC classification number: H01L51/0011 ,  B05B12/20 ,  C23C14/042 ,  C23C16/042 ,  C23C18/1605 ,  C30B25/04 ,  H01L51/5012

Abstract: 本发明提供了一种用于薄膜沉积的掩模及制造OLED的方法。本发明公开了在形成有机发光装置中的有机薄膜或导电层中使用的用于薄膜沉积的掩模。在一个实施例中，掩模包括：i)底构件；ii)多个狭缝，构造为穿透底构件，其中多个狭缝具有预定长度并沿第一方向延伸，其中多个狭缝包括置于第二方向最外面的最外狭缝，第二方向相对于第一方向具有预定角度，其中最外狭缝包括两个彼此分离的子狭缝；以及iii)肋支撑部件，形成在两个子狭缝之间并与两个子狭缝接触，其中肋支撑构件从与最外狭缝相邻的肋延伸。