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公开(公告)号:CN101798670A
公开(公告)日:2010-08-11
申请号:CN201010113665.5
申请日:2010-02-05
Applicant: 三星移动显示器株式会社
CPC classification number: C23C14/042 , H01L51/0011 , H01L51/56
Abstract: 本发明公开了掩模组件及用于使用该掩模组件的平板显示器的沉积设备。所述掩模组件包括:掩模框架,具有开口和围绕开口的框架;掩模框架上的图案掩模,包括具有至少一个与开口重叠的图案的图案部分和附着到所述框架的焊接部分;至少一个支撑棒,跨过开口并附着到图案掩模。
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公开(公告)号:CN101667529A
公开(公告)日:2010-03-10
申请号:CN200910170990.2
申请日:2009-08-31
Applicant: 三星移动显示器株式会社
IPC: H01L21/00 , H01L51/56 , H01L21/312
CPC classification number: H01L51/0011 , B05B12/20 , C23C14/042 , C23C16/042 , C23C18/1605 , C30B25/04 , H01L51/5012
Abstract: 本发明提供了一种用于薄膜沉积的掩模及制造OLED的方法。本发明公开了在形成有机发光装置中的有机薄膜或导电层中使用的用于薄膜沉积的掩模。在一个实施例中,掩模包括:i)底构件;ii)多个狭缝,构造为穿透底构件,其中多个狭缝具有预定长度并沿第一方向延伸,其中多个狭缝包括置于第二方向最外面的最外狭缝,第二方向相对于第一方向具有预定角度,其中最外狭缝包括两个彼此分离的子狭缝;以及iii)肋支撑部件,形成在两个子狭缝之间并与两个子狭缝接触,其中肋支撑构件从与最外狭缝相邻的肋延伸。
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公开(公告)号:CN101667529B
公开(公告)日:2012-09-05
申请号:CN200910170990.2
申请日:2009-08-31
Applicant: 三星移动显示器株式会社
IPC: H01L21/00 , H01L51/56 , H01L21/312
CPC classification number: H01L51/0011 , B05B12/20 , C23C14/042 , C23C16/042 , C23C18/1605 , C30B25/04 , H01L51/5012
Abstract: 本发明提供了一种用于薄膜沉积的掩模及制造OLED的方法。本发明公开了在形成有机发光装置中的有机薄膜或导电层中使用的用于薄膜沉积的掩模。在一个实施例中,掩模包括:i)底构件;ii)多个狭缝,构造为穿透底构件,其中多个狭缝具有预定长度并沿第一方向延伸,其中多个狭缝包括置于第二方向最外面的最外狭缝,第二方向相对于第一方向具有预定角度,其中最外狭缝包括两个彼此分离的子狭缝;以及iii)肋支撑部件,形成在两个子狭缝之间并与两个子狭缝接触,其中肋支撑构件从与最外狭缝相邻的肋延伸。
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公开(公告)号:CN101440476A
公开(公告)日:2009-05-27
申请号:CN200810161408.1
申请日:2008-09-25
Applicant: 三星移动显示器株式会社
IPC: C23C16/04
CPC classification number: C23C14/042
Abstract: 本发明公开一种用于平板显示器的薄膜气相沉积的掩模组件。在掩模组件中,清洗该掩模组件以后残留在单元掩模和框架之间的间隙中的清洗液可被最少化。掩模组件包括框架和多个单元掩模。框架包括围绕一开口的一对第一支撑部和一对第二支撑部。多个单元掩模具有至少一组图案开口,多个单元掩模被固定在第一支撑部上,同时多个单元掩模上施加有张紧力。第一支撑部包括第一表面和第二表面。多个单元掩模被固定在第一表面上,并且,第二表面从第一表面沿多个单元掩模的厚度方向具有相对第一表面的高度差。
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公开(公告)号:CN101140945B
公开(公告)日:2011-08-17
申请号:CN200710149122.7
申请日:2007-09-04
Applicant: 三星移动显示器株式会社
CPC classification number: H01L27/3276 , H01L51/5218 , H01L51/5246
Abstract: 本发明公开了一种能够用无机密封材料气密性地密封沉积基底和包封基底之间的空间的有机发光显示装置。该有机发光显示装置的一个实施例包括:第一基底,包括形成在有机发光二极管阵列上以及形成在该阵列的外围的电源线,电源线通过电源压焊块线连接到压焊块单元,以向有机发光二极管中的每个提供电源;第二基底,至少布置在第一基底的阵列上;无机密封材料,用于在形成闭合边界的同时密封第一基底和第二基底之间的内部空间,其中,无机密封材料与形成电源线的区域不重叠。
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公开(公告)号:CN101812662A
公开(公告)日:2010-08-25
申请号:CN201010114815.4
申请日:2010-02-10
Applicant: 三星移动显示器株式会社
CPC classification number: C23C16/042 , H01L51/56
Abstract: 本发明提供了一种掩模附着单元和一种使用该掩模附着单元的沉积设备,所述掩模附着单元包括:磁性组件;盖板,与所述磁性组件隔开;磁性控制单元,至少部分地在所述磁性组件的边缘和所述盖板的边缘之间。使用该掩模附着单元的沉积设备能够使用该掩模附着单元将基底和掩模组件附着在一起,以提高沉积精确度,同时防止掩模组件的切口发生变形。
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