使用激光的工件加工装置

    公开(公告)号:CN102848076B

    公开(公告)日:2015-07-15

    申请号:CN201210221936.8

    申请日:2012-06-27

    Abstract: 本发明提供一种使用激光的工件加工装置,其在沿着包括圆、圆弧、S字形等曲线的加工线扫描激光时,能够抑制扫描速度的降低,提升加工效率。作为解决手段,该向玻璃基板等工件照射激光进行加工的工件加工装置具有放置待加工的工件的工作台(2)、台移动机构(5)、输出激光的激光输出部(15)、偏转/旋转机构(18)和扫描控制单元。台移动机构(5)使工作台(2)沿着在与放置面平行的面内彼此垂直的x、y方向移动。偏转/旋转机构(18)使从激光输出部(15)射出的激光从出射轴偏转,并且使偏转后的激光绕出射轴旋转。扫描控制单元协调控制台移动机构(5)和偏转/旋转机构(18)的驱动,在工件上扫描激光。

    脆性材料基板的激光加工方法以及激光加工装置

    公开(公告)号:CN103212865B

    公开(公告)日:2016-01-20

    申请号:CN201310013688.2

    申请日:2013-01-15

    Abstract: 一种脆性材料基板的激光加工方法以及激光加工装置。作为课题,减轻对脆性材料基板照射激光进行开孔加工时的特别是脆性材料基板正面的崩裂。作为解决手段,该激光加工方法是对脆性材料基板照射激光进行开孔加工的方法,包含第1工序和第2工序。在第1工序中,从脆性材料基板的正面照射激光,使激光的会聚位置从脆性材料基板的背面向正面移动进行开孔加工,直到距离基板背面规定深度的位置处。在第2工序中,从脆性材料基板的正面照射激光,针对在第1工序中形成的孔,进行使激光的会聚位置从脆性材料基板的正面向背面移动,而与在第1工序中形成的孔连通的开孔加工。

    使用激光的工件加工装置

    公开(公告)号:CN102848076A

    公开(公告)日:2013-01-02

    申请号:CN201210221936.8

    申请日:2012-06-27

    Abstract: 本发明提供一种使用激光的工件加工装置,其在沿着包括圆、圆弧、S字形等曲线的加工线扫描激光时,能够抑制扫描速度的降低,提升加工效率。作为解决手段,该向玻璃基板等工件照射激光进行加工的工件加工装置具有放置待加工的工件的工作台(2)、台移动机构(5)、输出激光的激光输出部(15)、偏转/旋转机构(18)和扫描控制单元。台移动机构(5)使工作台(2)沿着在与放置面平行的面内彼此垂直的x、y方向移动。偏转/旋转机构(18)使从激光输出部(15)射出的激光从出射轴偏转,并且使偏转后的激光绕出射轴旋转。扫描控制单元协调控制台移动机构(5)和偏转/旋转机构(18)的驱动,在工件上扫描激光。

    脆性材料基板的激光加工方法以及激光加工装置

    公开(公告)号:CN103212865A

    公开(公告)日:2013-07-24

    申请号:CN201310013688.2

    申请日:2013-01-15

    Abstract: 一种脆性材料基板的激光加工方法以及激光加工装置。作为课题,减轻对脆性材料基板照射激光进行开孔加工时的特别是脆性材料基板正面的崩裂。作为解决手段,该激光加工方法是对脆性材料基板照射激光进行开孔加工的方法,包含第1工序和第2工序。在第1工序中,从脆性材料基板的正面照射激光,使激光的会聚位置从脆性材料基板的背面向正面移动进行开孔加工,直到距离基板背面规定深度的位置处。在第2工序中,从脆性材料基板的正面照射激光,针对在第1工序中形成的孔,进行使激光的会聚位置从脆性材料基板的正面向背面移动,而与在第1工序中形成的孔连通的开孔加工。

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