公开(公告)号：CN103842288A

公开(公告)日：2014-06-04

申请号：CN201280047919.5

申请日：2012-07-12

Applicant: 三菱瓦斯化学株式会社

Inventor： 田岛恒夫 ,  新井誉久

IPC: C01B15/013

CPC classification number: C01B15/0135 ,  C01B15/013

Abstract: 本发明的目的在于，提供能够有效地去除过氧化氢水溶液中包含的硅酸、硅酸盐等杂质的过氧化氢水溶液的制造方法。本发明的过氧化氢水溶液的制造方法具备：使过氧化氢水溶液接触用纯化水进行了清洗的活性氧化铝的第1工序；以及，在前述第1工序后，使前述过氧化氢水溶液接触阳离子交换树脂的第2工序。前述阳离子交换树脂优选为具有磺酸基的氢离子型强酸性阳离子交换树脂。要接触前述活性氧化铝和前述阳离子交换树脂的前述过氧化氢水溶液的温度优选为30℃以下。

公开(公告)号：CN102341366A

公开(公告)日：2012-02-01

申请号：CN201080010488.6

申请日：2010-02-10

Applicant: 三菱瓦斯化学株式会社

Inventor： 新井誉久 ,  矶部刚彦

IPC: C07C69/757 ,  C07C67/08 ,  C08F20/28 ,  G03F7/039

CPC classification number: G03F7/0397 ,  C07C67/08 ,  C07C2603/74 ,  C08F220/28 ,  C07C69/757

Abstract: 本发明提供下述式(1)所示的金刚烷衍生物、其制造方法、包含以具有该式(1)所示的金刚烷结构的丙烯酸酯化合物为重复单元的聚合物、包含该聚合物的功能性树脂组合物。所述功能性树脂组合物作为对KrF准分子激光、ArF准分子激光、F2准分子激光或EUV的远紫外线敏感的化学增幅型抗蚀剂，不会损害图案形状、耐干蚀刻性、耐热性等作为抗蚀剂的基本物性，即可实现分辨率、线边缘粗糙度的改善，并且其碱显影性或基板粘附性优异。(式中，R1～R3可以相同或不同，表示氢原子、碳原子数为1～3的烷基或含有卤素的烷基，R4～R8可以相同或不同，表示碳原子数为1～3的烷基或含有卤素的烷基，X可以相同或不同，表示氢原子、碳原子数为1～3的烷基、碳原子数为1～3的烷氧基，n表示14。)

公开(公告)号：CN101792389B

公开(公告)日：2014-09-17

申请号：CN200910265523.8

申请日：2009-12-25

Applicant: 三菱瓦斯化学株式会社

Inventor： 古川喜久夫 ,  新井誉久

IPC: C07C69/54 ,  C07C67/08 ,  C07C67/14 ,  C07C67/58

CPC classification number: C07C67/14 ,  C07C67/58 ,  C07C2603/74 ,  C07C69/54

Abstract: 本发明提供一种以式(3)和式(4)表示的金刚烷基(甲基)丙烯酸酯类的制造方法，包括：反应工序，在反应溶液中，使以式(1)表示的化合物和(甲基)丙烯酰卤或(甲基)丙烯酸酐反应，得到以式(2)～(4)表示的化合物的混合物；和分离工序，将以式(2)～(4)表示的化合物的混合物分离，分离工序包括：萃取工序，用水和极性有机溶剂的混合溶剂从反应溶液中萃取以式(2)和式(3)表示的化合物，得到包含以式(2)和式(3)表示的化合物和混合溶剂的水/极性有机溶剂溶液；和反萃取工序，用非极性有机溶剂从水/极性有机溶剂溶液中反萃取以式(3)表示的化合物。

公开(公告)号：CN107265409A

公开(公告)日：2017-10-20

申请号：CN201710607955.7

申请日：2012-07-12

Applicant: 三菱瓦斯化学株式会社

Inventor： 田岛恒夫 ,  新井誉久

IPC: C01B15/013

CPC classification number: C01B15/0135 ,  C01B15/013

Abstract: 本发明提供过氧化氢水溶液的制造方法。本发明的目的在于，提供能够有效地去除过氧化氢水溶液中包含的硅酸、硅酸盐等杂质的过氧化氢水溶液的制造方法。本发明的过氧化氢水溶液的制造方法具备：使过氧化氢水溶液接触用纯化水进行了清洗的活性氧化铝的第1工序；以及，在前述第1工序后，使前述过氧化氢水溶液接触阳离子交换树脂的第2工序。前述阳离子交换树脂优选为具有磺酸基的氢离子型强酸性阳离子交换树脂。要接触前述活性氧化铝和前述阳离子交换树脂的前述过氧化氢水溶液的温度优选为30℃以下。

公开(公告)号：CN101792389A

公开(公告)日：2010-08-04

申请号：CN200910265523.8

申请日：2009-12-25

Applicant: 三菱瓦斯化学株式会社

Inventor： 古川喜久夫 ,  新井誉久

IPC: C07C69/54 ,  C07C67/08 ,  C07C67/14 ,  C07C67/58

CPC classification number: C07C67/14 ,  C07C67/58 ,  C07C2603/74 ,  C07C69/54

Abstract: 本发明提供一种以式(3)和式(4)表示的金刚烷基(甲基)丙烯酸酯类的制造方法，包括：反应工序，在反应溶液中，使以式(1)表示的化合物和(甲基)丙烯酰卤或(甲基)丙烯酸酐反应，得到以式(2)～(4)表示的化合物的混合物；和分离工序，将以式(2)～(4)表示的化合物的混合物分离，分离工序包括：萃取工序，用水和极性有机溶剂的混合溶剂从反应溶液中萃取以式(2)和式(3)表示的化合物，得到包含以式(2)和式(3)表示的化合物和混合溶剂的水/极性有机溶剂溶液；和反萃取工序，用非极性有机溶剂从水/极性有机溶剂溶液中反萃取以式(3)表示的化合物。