公开(公告)号：CN110168132B

公开(公告)日：2021-12-17

申请号：CN201780082067.6

申请日：2017-12-11

申请人： 三菱电机株式会社

发明人： 横川政弘 ,  川崎隆裕 ,  中岛保 ,  田中芳雄

IPC分类号： C23C14/52 ,  C23C14/50 ,  C23C16/44 ,  C23C16/46 ,  G01J5/00 ,  H01L21/205 ,  H01L21/26 ,  H01L21/3065 ,  H01L21/324

摘要： 衬底处理装置具有：保持衬底(W)并在减压加热处理室内被加热的衬底保持件(H)；使从衬底保持件(H)放射的放射热线(La)向减压加热处理室外透过的透过窗(23)；在减压加热处理室外测量透过了透过窗(23)的放射热线(La)的放射温度计(25)；以及从朝向透过窗(23)开口的气体导入口(24a)向透过窗(23)喷射气体而将气体导入减压加热处理室内的气体导入装置(24)。

公开(公告)号：CN110168132A

公开(公告)日：2019-08-23

申请号：CN201780082067.6

申请日：2017-12-11

申请人： 三菱电机株式会社

发明人： 横川政弘 ,  川崎隆裕 ,  中岛保 ,  田中芳雄

IPC分类号： C23C14/52 ,  C23C14/50 ,  C23C16/44 ,  C23C16/46 ,  G01J5/00 ,  H01L21/205 ,  H01L21/26 ,  H01L21/3065 ,  H01L21/324

摘要： 衬底处理装置具有：保持衬底(W)并在减压加热处理室内被加热的衬底保持件(H)；使从衬底保持件(H)放射的放射热线(La)向减压加热处理室外透过的透过窗(23)；在减压加热处理室外测量透过了透过窗(23)的放射热线(La)的放射温度计(25)；以及从朝向透过窗(23)开口的气体导入口(24a)向透过窗(23)喷射气体而将气体导入减压加热处理室内的气体导入装置(24)。