-
公开(公告)号：CN103180755B
公开(公告)日：2014-10-08
申请号：CN201080069764.6
申请日：2010-12-10
申请人： 三菱电机株式会社
CPC分类号： H01L41/053 , G01S7/521 , G10K9/122
摘要： 得到结构简单、可按照使用用途或设置地点等容易设定变更输出声压（超声波的传播距离）的空中超声波传感器。空中超声波传感器（10）具备在轴向的一端具有开口部且在另一端具有底面的有底筒状壳体（1）、和固定安装在有底筒状壳体的内侧底面上的压电振子（2），还具备在轴向的两端具有开口部的无底筒状壳体（5）和固定安装在无底筒状壳体的开口部的一端上的薄膜（4），无底筒状壳体（5）与有底筒状壳体（1）嵌合，且具有可沿着有底筒状壳体的侧壁（1a）移动的结构。
-
公开(公告)号：CN1166012C
公开(公告)日：2004-09-08
申请号：CN00802675.0
申请日：2000-05-09
申请人： 三菱电机株式会社
IPC分类号： H01L41/08
CPC分类号： H03H9/174 , H03H3/04 , H03H9/02133 , H03H9/02157 , H03H9/176 , H03H2003/0428
摘要： 一种薄膜压电元件，包括：硅衬底1；由硅衬底1上形成的氮化硅膜16和在氮化硅膜16的上侧形成的氧化硅膜2组成的介质膜21；在介质膜21上形成的下部电极3；在下部电极3上形成的压电体膜17；以及在压电体膜17上形成的上部电极5；其中，通过从硅衬底1的底面至氮化硅膜16的边界面除去与包括上部电极5存在部位的区域相对的硅衬底1部位的厚度方向部分来形成通孔6。
-
公开(公告)号：CN105008953A
公开(公告)日：2015-10-28
申请号：CN201380073971.2
申请日：2013-03-06
申请人： 三菱电机株式会社
CPC分类号： G01N29/09 , B60R19/483 , G01N2291/018 , G01S7/521 , G01S15/931 , G01S2015/938 , G10K9/22 , G10K11/02
摘要： 具备：空中超声波传感器(2)，其使放射面(21a)朝向外部，安装在安装部(1)的贯通孔(11)中；以及声学匹配层(3)，其固定于放射面(21a)，使空中超声波传感器(2)的声阻抗与空气的声阻抗匹配，该声学匹配层(3)是在与安装部(1)相同的材料中添加了微囊体(31)而得到的。
-
公开(公告)号：CN102576072B
公开(公告)日：2014-10-08
申请号：CN200980162015.5
申请日：2009-10-19
申请人： 三菱电机株式会社
CPC分类号： G01S7/521 , G01S15/931 , G01S2015/938
摘要： 得到一种在传感器主体与壳体具有一体化构造的空中超声波传感器中能够降低在壳体中传播而到达传感器主体的无用波的空中超声波传感器。具备：传感器主体(1)，其向空中放射超声波，并且接收来自存在于空中的反射源(3)的反射波；收发装置(10)，其驱动传感器主体(1)，并且根据反射波求出离反射源(3)的距离或者传递声速；以及壳体(2)，其以一体化构造固定传感器主体(1)。壳体(2)具有声阻抗不同于周围的槽部(4)。相对于传感器主体(1)的左右方向和上下方向中的某一方向倾斜设置有槽部(4)。
-
公开(公告)号：CN102576072A
公开(公告)日：2012-07-11
申请号：CN200980162015.5
申请日：2009-10-19
申请人： 三菱电机株式会社
CPC分类号： G01S7/521 , G01S15/931 , G01S2015/938
摘要： 得到一种在传感器主体与壳体具有一体化构造的空中超声波传感器中能够降低在壳体中传播而到达传感器主体的无用波的空中超声波传感器。具备：传感器主体(1)，其向空中放射超声波，并且接收来自存在于空中的反射源(3)的反射波；收发装置(10)，其驱动传感器主体(1)，并且根据反射波求出离反射源(3)的距离或者传递声速；以及壳体(2)，其以一体化构造固定传感器主体(1)。壳体(2)具有声阻抗不同于周围的槽部(4)。相对于传感器主体(1)的左右方向和上下方向中的某一方向倾斜设置有槽部(4)。
-
公开(公告)号：CN110612458A
公开(公告)日：2019-12-24
申请号：CN201780090571.0
申请日：2017-05-16
申请人： 三菱电机株式会社
摘要： 安装部件(1)具有贯通孔(11)。超声波传感器(2)以超声波传感器(2)的放射面(22)从安装部件(1)的贯通孔(11)露出的方式固定于安装部件(1)。振动传播防止层(3)介于超声波传感器(2)的侧面的整周与安装部件(1)的贯通孔(11)的壁面之间。振动板(41)和(42)设置于经过超声波传感器(2)的放射面(22)的中心点且与放射面(22)平行的水平面上的第1直线以及与该第1直线垂直相交的第2直线中的任意一方的直线上，将超声波传感器(2)的放射面(22)和安装部件(1)连接起来。
-
公开(公告)号：CN102652269A
公开(公告)日：2012-08-29
申请号：CN201080053985.4
申请日：2010-01-21
申请人： 三菱电机株式会社
CPC分类号： B60R19/483 , G01S7/521 , G01S15/931 , G01S2015/938 , Y10T29/49826
摘要： 本发明所涉及的超声波传感器具有以下结构：在安装于缓冲器4的背面的超声波传感器中设有匹配构件3，该匹配构件3与该超声波传感器的超声波发送面和所述缓冲器4之间的相对面密接，且该匹配构件3的声阻抗比所述超声波发送面和所述缓冲器各自的声阻抗要小，因此谐振频率波动较小、力图提高发送功率并实现稳定化。
-
公开(公告)号：CN1337070A
公开(公告)日：2002-02-20
申请号：CN00802675.0
申请日：2000-05-09
申请人： 三菱电机株式会社
IPC分类号： H01L41/08
CPC分类号： H03H9/174 , H03H3/04 , H03H9/02133 , H03H9/02157 , H03H9/176 , H03H2003/0428
摘要： 一种薄膜压电元件,包括:硅衬底1;由硅衬底1上形成的氮化硅膜16和在氮化硅膜16的上侧形成的氧化硅膜2组成的介质膜21;在介质膜21上形成的下部电极3;在下部电极3上形成的压电体膜17;以及在压电体膜17上形成的上部电极5;其中,通过从硅衬底1的底面至氮化硅膜16的边界面除去与包括上部电极5存在部位的区域相对的硅衬底1部位的厚度方向部分来形成通孔6。
-
-
公开(公告)号：CN103180755A
公开(公告)日：2013-06-26
申请号：CN201080069764.6
申请日：2010-12-10
申请人： 三菱电机株式会社
CPC分类号： H01L41/053 , G01S7/521 , G10K9/122
摘要： 得到结构简单、可按照使用用途或设置地点等容易设定变更输出声压（超声波的传播距离）的空中超声波传感器。空中超声波传感器（10）具备在轴向的一端具有开口部且在另一端具有底面的有底筒状壳体（1）、和固定安装在有底筒状壳体的内侧底面上的压电振子（2），还具备在轴向的两端具有开口部的无底筒状壳体（5）和固定安装在无底筒状壳体的开口部的一端上的薄膜（4），无底筒状壳体（5）与有底筒状壳体（1）嵌合，且具有可沿着有底筒状壳体的侧壁（1a）移动的结构。
-
-
-
-
-
-
-
-
-
搜索结果
16 条记录 (耗时 0.024 秒)
