图像检查装置以及采用该图像检查装置的图像检查方法

    公开(公告)号:CN100590427C

    公开(公告)日:2010-02-17

    申请号:CN200710101136.1

    申请日:2007-04-29

    CPC classification number: G01N21/9505 G01N21/9503

    Abstract: 以往,在半导体晶片的缺陷(裂纹或异物等)的检查中,当用照相机拍摄透过半导体晶片的红外光、并用该摄像图像进行检查时,由于从被检查物的外侧泄漏出来的光的原因,照相机产生光晕,结果不能检查被检查体的周边部分。本发明用红外光源(3)照射被检查体(1),用红外线照相机(6)拍摄透过了被检查体(1)的光,并进行被检查体的检查。通过采用距被检查体的周围有微小量的间隙(10)的掩模机构(8),便可以检查被检查物的周边部分。另外,通过采用多组支撑被检查体(1)的机构可以分别退避的构成的部件,并使其交替退避,就可以检查全部。

    阴极射线管的分色电极的制造装置及制造方法

    公开(公告)号:CN1477668A

    公开(公告)日:2004-02-25

    申请号:CN03107994.6

    申请日:2003-03-28

    Abstract: 提供一种可以消除周边除去后发生的电极主体的外周端部突出的阴极射线管的制造装置及制造方法。所述阴极射线管的制造装置具有将分色电极固定到规定位置上的定位、固定机构,以及除去电极主体的周边之后,将分色电极的电极主体的外周端部向框架上推压的压弯装置。压弯装置具有辊,支承机构,使支承机构沿相对于电极主体接近或远离的方向移动的第一移动机构,使支承机构向框架的长度方向移动的第二移动机构。用第一移动机构将辊推压到电极主体的外周端部上,用第二移动机构使推压到电极主体的外周端部上的辊沿框架的边的方向移动。

    太阳能电池的制造方法
    6.
    发明授权

    公开(公告)号:CN107924956B

    公开(公告)日:2020-01-17

    申请号:CN201580082173.5

    申请日:2015-10-21

    Abstract: 太阳能电池的制造方法包括:将具有包含第1浓度的杂质且具有第1电阻值的第1部位(61)和杂质的浓度是高于第1浓度的第2浓度且具有小于第1电阻值的第2电阻值的第2部位(62)的扩散层(6)形成于半导体基板(1)的受光面侧的步骤;将针对第1部位(61)的反射率大于针对第2部位(62)的反射率的检测光(70)照射到扩散层(6)的步骤;以及基于被扩散层(6)的各部位反射的检测光(70)的反射率的差异,检测扩散层(6)中的与第1反射率对应的第1部位(61)和与小于第1反射率的第2反射率对应的第2部位(62)的步骤。

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