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公开(公告)号：CN107924956B
公开(公告)日：2020-01-17
申请号：CN201580082173.5
申请日：2015-10-21
Applicant: 三菱电机株式会社
IPC: H01L31/0224 , H01L31/0216 , H01L31/18
Abstract: 太阳能电池的制造方法包括：将具有包含第1浓度的杂质且具有第1电阻值的第1部位(61)和杂质的浓度是高于第1浓度的第2浓度且具有小于第1电阻值的第2电阻值的第2部位(62)的扩散层(6)形成于半导体基板(1)的受光面侧的步骤；将针对第1部位(61)的反射率大于针对第2部位(62)的反射率的检测光(70)照射到扩散层(6)的步骤；以及基于被扩散层(6)的各部位反射的检测光(70)的反射率的差异，检测扩散层(6)中的与第1反射率对应的第1部位(61)和与小于第1反射率的第2反射率对应的第2部位(62)的步骤。
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公开(公告)号：CN101203384B
公开(公告)日：2012-02-01
申请号：CN200680022065.X
申请日：2006-06-27
Applicant: 三菱电机株式会社
CPC classification number: H05K3/1216 , B41F15/20 , H01L31/022425 , H01L31/18 , H05K2201/0116 , H05K2203/0165 , H05K2203/082 , Y02E10/50
Abstract: 一种丝网印刷机，具有：印刷载置台(1)、印刷掩模(4)以及刮板(33)；印刷载置台(1)在载置台面(3)上具有多个吸附孔(2)，通过真空吸附来支撑固定被载置在该载置台面(3)上的被印刷物(20)；印刷掩模(4)用于在支撑固定在该印刷载置台(1)上的被印刷物(20)上形成既定的电极图案；刮板(33)向配置在该印刷掩模(4)上的金属糊剂施加既定的压力，向被印刷物(20)进行印刷；设置夹在被印刷物(20)和印刷载置台(1)之间的多孔质体(6)，可抑制因小碎片或印刷糊剂等异物而导致被印刷物破损，提高制造合格品率。
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公开(公告)号：CN107924956A
公开(公告)日：2018-04-17
申请号：CN201580082173.5
申请日：2015-10-21
Applicant: 三菱电机株式会社
IPC: H01L31/0224 , H01L31/0216 , H01L31/18
Abstract: 太阳能电池的制造方法包括：将具有包含第1浓度的杂质且具有第1电阻值的第1部位(61)和杂质的浓度是高于第1浓度的第2浓度且具有小于第1电阻值的第2电阻值的第2部位(62)的扩散层(6)形成于半导体基板(1)的受光面侧的步骤；将针对第1部位(61)的反射率大于针对第2部位(62)的反射率的检测光(70)照射到扩散层(6)的步骤；以及基于被扩散层(6)的各部位反射的检测光(70)的反射率的差异，检测扩散层(6)中的与第1反射率对应的第1部位(61)和与小于第1反射率的第2反射率对应的第2部位(62)的步骤。
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公开(公告)号：CN101203384A
公开(公告)日：2008-06-18
申请号：CN200680022065.X
申请日：2006-06-27
Applicant: 三菱电机株式会社
CPC classification number: H05K3/1216 , B41F15/20 , H01L31/022425 , H01L31/18 , H05K2201/0116 , H05K2203/0165 , H05K2203/082 , Y02E10/50
Abstract: 一种丝网印刷机，具有：印刷载置台(1)、印刷掩模(4)以及刮板(33)；印刷载置台(1)在载置台面(3)上具有多个吸附孔(2)，通过真空吸附来支撑固定被载置在该载置台面(3)上的被印刷物(20)；印刷掩模(4)用于在支撑固定在该印刷载置台(1)上的被印刷物(20)上形成既定的电极图案；刮板(33)向配置在该印刷掩模(4)上的金属糊剂施加既定的压力，向被印刷物(20)进行印刷；设置夹在被印刷物(20)和印刷载置台(1)之间的多孔质体(6)，可抑制因小碎片或印刷糊剂等异物而导致被印刷物破损，提高制造合格品率。
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