公开(公告)号：CN114080696A

公开(公告)日：2022-02-22

申请号：CN202080049293.6

申请日：2020-07-08

Applicant: 三菱综合材料株式会社

Inventor： 辻内直人 ,  曾山信幸

IPC: H01L41/09 ,  H01L41/187 ,  H01L41/113

Abstract: 该压电体膜包含粒状晶粒，该粒状晶粒含有下述通式(1)所表示的含铁铌酸钾钠，且平均纵横比为3以下，式(1)：(KxNa1‑x)a(FeyNbz)O3。式(1)中，x表示满足0＜x＜1的数，a表示满足0.90＜a≤1的数，y与z表示满足y+z＝1及0.006≤y/z≤0.04的数。

公开(公告)号：CN112335062A

公开(公告)日：2021-02-05

申请号：CN201980039936.6

申请日：2019-06-07

Applicant: 三菱综合材料株式会社

Inventor： 辻内直人 ,  土井利浩 ,  曾山信幸

IPC: H01L41/317 ,  H01L41/187

Abstract: 该KNN膜形成用液体组合物包含有机金属化合物与溶剂，所述有机金属化合物包含有机钾化合物、有机钠化合物及有机铌化合物。在该KNN膜形成用液体组合物中，有机钾化合物及钠化合物分别为由通式CnH2n+1COOH(其中，4≤n≤8)表示的羧酸的金属盐，有机铌化合物为烷氧化铌或所述通式CnH2n+1COOH(其中，4≤n≤8)所示的羧酸的金属盐，主溶剂为由所述通式CnH2n+1COOH(其中，4≤n≤8)表示的羧酸，且相对于KNN膜形成用液体组合物100质量％包含50质量％～90质量％。

公开(公告)号：CN118633145A

公开(公告)日：2024-09-10

申请号：CN202380019036.1

申请日：2023-01-24

Applicant: 三菱综合材料株式会社

Inventor： 辻内直人

IPC: H01L21/316 ,  C23C24/10

Abstract: 含铪化合物溶胶凝胶液含有成为溶剂的醇及成为氧化铪源的铪化合物，并且含有选自Zr、Ti及Nb中的一种或两种以上的元素M，所述元素M的含量WM与作为金属成分的Hf的含量WHf的质量比WM/WHf在0.2％以上且5.0％以下的范围内。含有氧化铪(HfO2)，并且含有选自Zr、Ti及Nb中的一种或两种以上的元素M，所述元素M的含量WM与所述HfO2的含量WHfO2的质量比WM/WHfO2在0.05％以上且5.0％以下的范围内。

公开(公告)号：CN117916328A

公开(公告)日：2024-04-19

申请号：CN202280060370.7

申请日：2022-08-30

Applicant: 三菱综合材料株式会社

Inventor： 辻内直人 ,  巽康司

IPC: C09D1/00 ,  B05D3/02 ,  B05D7/24 ,  C09D7/40 ,  C09D7/63

Abstract: 该含铪化合物溶胶凝胶液含有成为溶剂的碳数为5以下的低级醇、成为氧化铪源的铪化合物以及作为润湿性改善剂的在分子内具有醚基及N原子中的任一者或两者的多元醇。优选还含有稳定剂。优选所述铪化合物的含量在0.05质量％以上且10质量％以下的范围内，所述多元醇的含量在0.05质量％以上且20质量％以下的范围内。

公开(公告)号：CN116096691A

公开(公告)日：2023-05-09

申请号：CN202180054614.6

申请日：2021-09-08

Applicant: 三菱综合材料株式会社

Inventor： 辻内直人 ,  巽康司 ,  盐野一郎

IPC: C04B41/87

Abstract: 本发明的耐等离子体涂膜为一种如下的耐等离子体涂膜，其形成于基材上，在SiO2膜中包含平均粒径为0.5μm～5.0μm的结晶性Y2O3粒子，通过利用扫描型电子显微镜对膜截面进行图像分析并由下述式(1)求出的膜密度为90％以上，膜中的孔隙的尺寸为直径5μm以下，且基于膜的划格试验所得的从所述基材的剥离率为5％以下。膜密度(％)＝[(S1‑S2)/S1]×100(1)，其中，在式(1)中，S1为膜的面积，S2为膜中的孔隙部分的面积。