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公开(公告)号：CN116164856A
公开(公告)日：2023-05-26
申请号：CN202310183517.8
申请日：2023-02-28
申请人： 上海交通大学
摘要： 本发明提供了一种柔性温度传感器及其制备方法，包括：柔性绝缘基底、正极热电偶薄膜以及负极热电偶薄膜；正极热电偶薄膜和负极热电偶薄膜设置在柔性绝缘基底上，正极热电偶薄膜的一端与负极热电偶薄膜的一端重叠作为温度敏感区域，正极热电偶薄膜的另一端与负极热电偶薄膜的另一端共同作为冷端。本发明可以高效、简易地在PET、PI柔性基底上制备出线性度好的薄膜温度传感器。
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公开(公告)号：CN115915892A
公开(公告)日：2023-04-04
申请号：CN202211607564.2
申请日：2022-12-14
申请人： 上海交通大学
IPC分类号： H10N10/13 , H10N10/852 , H10N10/80 , H10N10/01 , G01D21/00
摘要： 本发明提供了一种柔性自供能传感器、制备方法及系统，此微型自供能传感器芯片以柔性薄膜材料为基底，在柔性基底S上：设置于柔性基底S上的柔性热阻层B；设置于柔性热阻层B之上的P型半导体材料P和N型半导体材料N，P型半导体材料和N型半导体材料通过电化学方法沉积制备而成，柔性热阻层B覆盖部分柔性基底S的区域，形成冷端区域SC；未被柔性热阻层B覆盖的柔性基底S的区域形成热端区域SH，P型半导体材料P与N型半导体材料N相间排列并首尾相连，在连接处形成节点C：处于热端区域SH处的节点称为热节点C1，处于冷端区域Sc处的节点称为冷节点C2，热节点C1与冷节点C2相互串联并交错间隔排列，形成热电堆。
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公开(公告)号：CN117168657A
公开(公告)日：2023-12-05
申请号：CN202210562537.1
申请日：2022-05-23
申请人： 上海交通大学
摘要： 本发明提供了一种高温合金基底上多层异质薄膜结构热流计及其制备方法，包括合金基底，过渡层合金薄膜、热生长氧化薄膜以及离子束溅射薄膜依次设置在合金基底上；热阻层薄膜和热导层薄膜二者均设置在离子束溅射薄膜上；正极热电偶与负极热电偶二者均设置在热阻层薄膜和热导层薄膜上，正极热电偶设置在负极热电偶的两侧，正极热电偶与负极热电偶二者分别通过热节点和冷节点连接，且热节点位于热阻层薄膜的上方，冷节点位于热导层薄膜的上方；一个正极热电偶和一个负极热电偶串联形成一对热电偶，多对热电偶首尾搭接形成薄膜热电堆。本发明通过利用多层异质薄膜结构热流计，有助于进行瞬态大热流的测量，从而有助于提高热流计的灵敏度。
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公开(公告)号：CN114613900A
公开(公告)日：2022-06-10
申请号：CN202210232688.0
申请日：2022-03-09
申请人： 上海交通大学
摘要： 本发明提供了一种用于发动机关键部件的微型自供能传感器设计及其制备方法，包括电气隔离层、热阻层、P型半导体以及N型半导体；电气隔离层表面设置有一个或多个热阻层，设置有热阻层区域形成有热端区域，未覆盖有热阻层区域形成有冷端区域；P型半导体与N型半导体二者均设置在电气隔离层和热阻层形成的结合体上，P型半导体与N型半导体间隔设置且依次首尾相连，连接处形成有节点。本发明通过在电气隔离层上制备热阻层，再在二者上制备P型半导体和N型半导体组成的传感器电路，有助于将热能转化为电能。本发明通过采用多种热端区域与热节点的配合方式，有助于提高传感器的工作效率，从而有助于提高传感器的适用范围。
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