公开(公告)号：CN117199168A

公开(公告)日：2023-12-08

申请号：CN202311231217.9

申请日：2023-09-22

Applicant: 上海大学

Inventor： 李洪伟 ,  黄健 ,  丽娜·阿扎提 ,  黄浩斐 ,  张磊 ,  林龙辉 ,  徐可 ,  钱智超 ,  唐可 ,  王林军

IPC: H01L31/119 ,  H01L31/0296 ,  H01L31/18 ,  C23C14/06 ,  C23C14/08 ,  C23C14/35 ,  C23C14/24 ,  C23C16/40 ,  C23C16/455 ,  C23C28/04

Abstract: 本发明涉及一种低噪声高灵敏度的碲锌镉厚膜核辐射探测器及其制备方法，包括由下至上依此堆叠而成的衬底、栅电极、栅绝缘层、沟道层以及响应层；所述沟道层为氧化锌基薄膜，所述响应层为碲锌镉厚膜；所述沟道层上方沉积了由源电极和漏电极构成晶体管，所述碲锌镉厚膜位于源电极和漏电极之间；所述沟道层与响应层构成异质结，其中制备方法为S1衬底清洗及预处理；S2栅电极的制备；S3栅绝缘层的制备；S4沟道层的制备；S5响应层的制备；S6源电极、漏电极的制备。与现有技术相比，本发明提高了载流子迁移率、实现了极低剂量和高灵敏度的检测。