公开(公告)号：CN104635065A

公开(公告)日：2015-05-20

申请号：CN201510043869.9

申请日：2015-01-28

申请人： 上海市计量测试技术研究院

发明人： 安兆亮 ,  邓峥 ,  何龙标 ,  傅云霞 ,  杨平 ,  陈文王

IPC分类号： G01R29/22

摘要： 本发明涉及薄膜材料压电常数测量装置，属于测量领域。一种气腔压力法薄膜材料压电常数测量装置，其特征在于：将待测薄膜材料放置在全封闭气腔内，所述全封闭气腔通过压力控制器连接气源，由压力控制器控制全封闭气腔内的压力，所述待测薄膜材料上下两面的电极与设置在全封闭气腔的腔体壁上的连通全封闭气腔内外的导电柱电连接，所述导电柱的外接电线连接电荷放大器，最后连接到数字示波器，所述压力控制器连接有数字压力计，所述全封闭气腔内还设置有热电偶传感器，热电偶传感器连接监控用数字温度计。本发明的测量装置和测量方法测试简单直接，待测薄膜材料在测试中非常稳定，大大提高了测试精度。

公开(公告)号：CN204595101U

公开(公告)日：2015-08-26

申请号：CN201520060196.3

申请日：2015-01-28

申请人： 上海市计量测试技术研究院

发明人： 安兆亮 ,  邓峥 ,  何龙标 ,  傅云霞 ,  杨平 ,  陈文王

IPC分类号： G01R29/22

摘要： 本实用新型涉及一种薄膜材料压电常数测量装置，属于测量领域。一种气腔压力法薄膜材料压电常数测量装置，其特征在于：将待测薄膜材料放置在全封闭气腔内，所述全封闭气腔通过压力控制器连接气源，由压力控制器控制全封闭气腔内的压力，所述待测薄膜材料上下两面的电极与设置在全封闭气腔的腔体壁上的连通全封闭气腔内外的导电柱电连接，所述导电柱的外接电线连接电荷放大器，最后连接到数字示波器，所述压力控制器连接有数字压力计，所述全封闭气腔内还设置有热电偶传感器，热电偶传感器连接监控用数字温度计。本实用新型通过将待测薄膜材料放置在全封闭气腔内，不会在测量过程中出现影响测量结果的不良因素，大大提高了测量精度。