公开(公告)号：CN105671552B

公开(公告)日：2018-04-10

申请号：CN201610239273.0

申请日：2016-04-18

申请人： 上海应用技术学院 ,  上海应术电站配件有限公司

发明人： 张东民 ,  张而耕 ,  姚松骏 ,  恽庞杰 ,  刘铭心 ,  盛育东 ,  冯全华 ,  曹启伟 ,  陈厚良

IPC分类号： C23C28/04 ,  C23C14/34 ,  C23C14/06 ,  C23C16/44 ,  C23C16/27

摘要： 本发明提供了一种汽轮机转子轮槽量规表面耐磨涂层的制备方法，包括：步骤1，提供一无涂层的汽轮机转子轮槽量规和一真空炉，真空炉中设置有Ti靶材；步骤2，将无涂层的汽轮机转子轮槽量规置于真空炉内，对无涂层的汽轮机转子轮槽量规的表面进行加靶活化；步骤3，对表面已完成活化的汽轮机转子轮槽量规进行TiN涂层沉积：调节真空炉炉腔温度为180～200℃，向真空炉腔中通入N2气，N2气体流量为150～180sccm，对Ti靶材通电作为蒸发源，通电电流为120～140A，在汽轮机转子轮槽量规上加偏压为150～180V，持续15～20min后完成TiN涂层沉积并进入下一步；步骤4，在TiN涂层表面进行DLC涂层沉积。

公开(公告)号：CN105671552A

公开(公告)日：2016-06-15

申请号：CN201610239273.0

申请日：2016-04-18

申请人： 上海应用技术学院 ,  上海应术电站配件有限公司

发明人： 张东民 ,  张而耕 ,  姚松骏 ,  恽庞杰 ,  刘铭心 ,  盛育东 ,  冯全华 ,  曹启伟 ,  陈厚良

IPC分类号： C23C28/04 ,  C23C14/34 ,  C23C14/06 ,  C23C16/44 ,  C23C16/27

CPC分类号： C23C28/042 ,  C23C14/0641 ,  C23C14/34 ,  C23C16/27 ,  C23C16/44

摘要： 本发明提供了一种汽轮机转子轮槽量规表面耐磨涂层的制备方法，包括：步骤1，提供一无涂层的汽轮机转子轮槽量规和一真空炉，真空炉中设置有Ti靶材；步骤2，将无涂层的汽轮机转子轮槽量规置于真空炉内，对无涂层的汽轮机转子轮槽量规的表面进行加靶活化；步骤3，对表面已完成活化的汽轮机转子轮槽量规进行TiN涂层沉积：调节真空炉炉腔温度为180～200℃，向真空炉腔中通入N2气，N2气体流量为150～180sccm，对Ti靶材通电作为蒸发源，通电电流为120～140A，在汽轮机转子轮槽量规上加偏压为150～180V，持续15～20min后完成TiN涂层沉积并进入下一步；步骤4，在TiN涂层表面进行DLC涂层沉积。