公开(公告)号：CN107142453A

公开(公告)日：2017-09-08

申请号：CN201710277557.3

申请日：2017-04-25

申请人： 上海理工大学

发明人： 陶春先 ,  阮俊 ,  马守宝 ,  张大伟 ,  洪瑞金 ,  韩朝霞

IPC分类号： C23C14/18 ,  C23C14/58 ,  C23C14/10 ,  C23C14/30 ,  C23C14/26

CPC分类号： C23C14/18 ,  C23C14/10 ,  C23C14/26 ,  C23C14/30 ,  C23C14/5806

摘要： 本发明是为了解决荧光单层薄膜在紫外波段发光效率很低的问题而进行的。本发明提供的基于银纳米颗粒的复合紫外增强薄膜的制备方法，包括以下步骤：步骤一，将石英衬底进行清洗后烘干；步骤二，利用真空热蒸发在石英衬底上形成一层银纳米薄膜，银纳米薄膜的厚度为10～25nm；步骤三，将附着银纳米薄膜的石英衬底在马弗炉中进行退火处理，退火温度为200～350℃退火10～15分钟，银纳米薄膜在石英衬底上转化为银纳米颗粒层；步骤四，利用电子束蒸发在银纳米颗粒层上制备SiO2薄膜层，SiO2薄膜的厚度为10～25nm；以及步骤五，通过热阻蒸发在SiO2薄膜层上制备荧光薄膜层，荧光薄膜层的厚度为10～25nm，制备得到附着在石英衬底上的复合紫外增强薄膜。