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公开(公告)号：CN109631621B
公开(公告)日：2023-11-10
申请号：CN201910022318.2
申请日：2019-01-10
申请人： 上海盛韬半导体科技有限公司
摘要： 本发明提供一种适用于高纯介质提纯的换热器，包括壳体和设置在壳体内的盘管；所述壳体从上而下依次由盖板、筒身、法兰和底板构成，所述盘管包括弯管、输入主管和输出主管，所述弯管呈圆环形结构，由数根内壁经过EP处理的不锈钢EP管再经盘管处理后紧密排列制成；所述弯管的进口端与输入主管连接，其出口端与输出主管连接，且所述弯管与输入主管和输出主管不在同一平面上。本发明还提供了一种适用于高纯介质提纯的换热器的制备方法。本发明的盘管为内壁经过EP处理的不锈钢EP管，更能适用于半导体行业所需要的高纯气体环境，提纯效果更好，且换热器管路采用盘管处理方式紧密排列，换热面积大，效率高，与同等换热效率的换热器相比，占地体积较小。
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公开(公告)号：CN109631621A
公开(公告)日：2019-04-16
申请号：CN201910022318.2
申请日：2019-01-10
申请人： 上海盛韬半导体科技有限公司
CPC分类号： F28D7/04 , B21D53/06 , F28F21/083
摘要： 本发明提供一种适用于高纯介质提纯的换热器，包括壳体和设置在壳体内的盘管；所述壳体从上而下依次由盖板、筒身、法兰和底板构成，所述盘管包括弯管、输入主管和输出主管，所述弯管呈圆环形结构，由数根内壁经过EP处理的不锈钢EP管再经盘管处理后紧密排列制成；所述弯管的进口端与输入主管连接，其出口端与输出主管连接，且所述弯管与输入主管和输出主管不在同一平面上。本发明还提供了一种适用于高纯介质提纯的换热器的制备方法。本发明的盘管为内壁经过EP处理的不锈钢EP管，更能适用于半导体行业所需要的高纯气体环境，提纯效果更好，且换热器管路采用盘管处理方式紧密排列，换热面积大，效率高，与同等换热效率的换热器相比，占地体积较小。
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公开(公告)号：CN215372039U
公开(公告)日：2021-12-31
申请号：CN202120268714.6
申请日：2021-01-29
申请人： 上海盛韬半导体科技有限公司
摘要： 一种用于特殊液体高流量气化输出的加热装置，包括：硅橡胶加热毯、保温棉、收紧带和压板，硅橡胶加热毯内部设置有钢瓶，保温棉与硅橡胶加热毯外侧连接，收紧带与硅橡胶加热毯和保温棉外部连接，压板与硅橡胶加热毯两端内外侧连接。其中，硅橡胶加热毯包括：加热毯本体、加热丝、热电偶、过温开关、接线盒和魔术贴。本实用新型与传统技术相比，通过增设硅橡胶加热毯，实现更高流量的液体气化输出，满足后端机台对流量的需求。
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公开(公告)号：CN212986741U
公开(公告)日：2021-04-16
申请号：CN202021014837.9
申请日：2020-06-05
申请人： 上海盛韬半导体科技有限公司
摘要： 一种用于特殊气体钢瓶预处理的烘箱设备，包括：操作单元、烘箱单元、控制显示操作单元、声光报警器和急停按钮，操作单元与烘箱单元外部连接，控制显示操作单元与烘箱单元连接，声光报警器和急停按钮与控制显示操作单元表面连接。其中，操作单元包括：架子、氦气入口阀、氦气手动阀、氦气备用阀、吹扫气备用阀、吹扫气一级手阀、吹扫气一级调压阀、吹扫气二级手阀、吹扫气二级调压阀、吹扫气气动阀、分析口阀、管路阀、压力表、压力传感器、真空计、排放气动阀、抽真空气动阀、支路排放气动阀、抽真空阀、真空电磁阀、泵、仪表气入口阀、仪表气备用阀和仪表气调压阀。本实用新型与传统技术相比，配件系统化集成，避免人为引起的设备和人身损害。
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公开(公告)号：CN212986740U
公开(公告)日：2021-04-16
申请号：CN202020938802.8
申请日：2020-05-29
申请人： 上海盛韬半导体科技有限公司
IPC分类号： F17C5/00
摘要： 一种用于特殊气体钢瓶充装的充装设备，包括：箱体、原料气面板、充装操作面板、抽真空单元、控制显示操作单元、报警单元、本地急停按钮和压差表，原料气面板与箱体外部连接，充装操作面板与箱体内部左侧连接，抽真空单元与箱体外部连接，控制显示操作单元与箱体连接，报警单元和本地急停按钮与箱体连接，报警单元和本地急停按钮与控制显示操作单元连接，压差表与箱体连接。本实用新型与传统技术相比，系统控制气动阀自己完成气体充装，从而避免因人为误操作引起的设备损害和人身危害。
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公开(公告)号：CN212298533U
公开(公告)日：2021-01-05
申请号：CN202020781924.0
申请日：2020-05-12
申请人： 上海盛韬半导体科技有限公司
摘要： 一种用于特殊气体混合配比的混气输送设备，包括：柜体、原料气供应单元，混气配比单元、混气供应单元、控制显示操作单元和报警单元，原料气供应单元设于柜体内，混气配比单元入口端与原料气供应单元连接，混气供应单元与混气配比单元出口端连接，控制显示操作单元和报警单元与柜体连接。本实用新型与传统的管道直接传导的设备相比，通过现代化的电控手段达到监控、报警的作用，同时避免人工操作，提高生产安全性。
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公开(公告)号：CN220828751U
公开(公告)日：2024-04-23
申请号：CN202322648334.7
申请日：2023-09-27
申请人： 上海盛韬半导体科技有限公司
摘要： 一种用于特殊气体大流量供应设备，包括：柜体、电控箱、深度吹扫箱、原料气供应单元、加热模块、吹扫单元、控制显示操作单元、报警单元和紧急停止按钮，电控箱与柜体顶部连接，深度吹扫箱与柜体内上部连接，原料气供应单元与柜体和深度吹扫箱内部连接，加热模块与原料气供应单元连接，吹扫单元与原料气供应单元连接，控制显示操作单元与电控箱、原料气供应单元、吹扫单元和报警单元连接，报警单元与电控箱连接，紧急停止按钮与柜体连接。本实用新型与传统技术相比，通过设计气动阀控制工艺气的流向，实现自己完成原料气体输入、特气供应、管路吹扫从而避免因人为误操作引起的设备损害和人身危害。
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公开(公告)号：CN218763975U
公开(公告)日：2023-03-28
申请号：CN202221624501.3
申请日：2022-06-27
申请人： 上海盛韬半导体科技有限公司
IPC分类号： F24H3/00 , F24H9/00 , F24H9/1863 , F24H9/20 , F24H15/136
摘要： 一种防爆气体加热的设备，包括：防爆加热模块、加热保温罐、工艺气进口和工艺气出口，防爆加热模块与加热保温罐上部连接，工艺气进口和工艺气出口与加热保温罐上部连接。其中，防爆加热模块包括：防爆盒、防爆盒顶盖、防爆通头、电器接头、防爆盒底座、铂热电阻温度传感器、温控器、接线端子和接线柱。本实用新型与传统技术相比，通过在调压阀前增设加热模块，进行预加热，能够使气体在经过减压时因为温度降低而使调压阀及其它部件冷凝结冰的现象有效缓解，提高阀门及部件的使用寿命。
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公开(公告)号：CN214369272U
公开(公告)日：2021-10-08
申请号：CN202120268808.3
申请日：2021-01-29
申请人： 上海盛韬半导体科技有限公司
摘要： 一种用于特殊气体超高流量输送的设备，包括：主柜体、工艺气体供应单元、吹扫单元、排放单元、深度吹扫箱、控制显示操作单元和报警单元，工艺气体供应单元、吹扫单元和排放单元设置于主柜体内部，深度吹扫箱和控制显示操作单元与主柜体外部连接，报警单元与主柜体连接。其中，工艺气体供应单元包括：入口隔离阀、缓冲套管、支路隔离阀、支路气动隔离阀、加热模块、过流量开关、调压阀、过滤器、第一气动隔离阀、手动隔离阀、出口隔离阀和第一压力传感器。本实用新型与传统技术相比，通过设计增设工艺气体供应单元，实现切换供应和换瓶流程，通过程式控制气动阀自己完成工作，从而避免因人为误操作引起的设备损害和人身危害。
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公开(公告)号：CN212039901U
公开(公告)日：2020-12-01
申请号：CN202020462876.9
申请日：2020-04-02
申请人： 上海盛韬半导体科技有限公司
IPC分类号： B01F3/02
摘要： 一种用于气体混合的混气设备，包括：主柜体、电控箱体、气体供应单元、分析单元、缓冲单元、控制显示操作单元和报警单元，电控箱体设于主柜体内左侧上部，气体供应单元与主柜体内部连接，分析单元与气体供应单元连接，缓冲单元与主柜体内部连接，控制显示操作单元与主柜体和电控箱体连接，报警单元与主柜体和控制显示操作单元连接。本实用新型与传统技术相比，通过利用计算机控制技术，实现气体按比例混合流程编好程式，通过程式控制气动阀自己完成气体按比例混合并进行分析，从而避免因人为误操作引起的设备损害和人身危害。
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