正型感光性树脂组合物
    6.
    发明公开

    公开(公告)号:CN104641291A

    公开(公告)日:2015-05-20

    申请号:CN201280075939.3

    申请日:2012-09-24

    CPC classification number: G03F7/039 G03F7/0226 G03F7/0233 G03F7/40

    Abstract: 本发明涉及一种正型感光性树脂组合物,其含有(a)碱溶性聚酰亚胺、(b)在一分子中具有2个以上的环氧基的化合物、和(c)光酸产生剂,并且相对于100重量份的(a)碱溶性聚酰亚胺,(b)在一分子中具有2个以上的环氧基的化合物的含量为5~50重量份。本发明提供一种正型感光性树脂组合物,其在200℃以下的低温加热处理时,可以获得低翘曲、并且不产生由回流导致的图案掩埋、高分辨率的固化膜。

    正型感光性树脂组合物、含有使用了其的固化膜的半导体器件的制造方法

    公开(公告)号:CN104662475B

    公开(公告)日:2019-03-29

    申请号:CN201380049169.X

    申请日:2013-09-11

    Abstract: 本发明提供一种正型感光性树脂组合物,所述正型感光性树脂组合物经250℃以下的低温烧成,可以获得低翘曲、且高灵敏度和高分辨率的优异的固化膜。本发明的正型感光性树脂组合物的特征在于,含有(a)具有通式(1)所示的结构单元和通式(2)所示的结构单元的聚酰亚胺树脂、和(b)醌二叠氮感光剂,所述具有通式(1)所示的结构单元和通式(2)所示的结构单元的聚酰亚胺树脂的酰亚胺化率为85%以上,并且,通式(1)所示的结构单元和通式(2)所示的结构单元的比为30:70~90:10。(通式(1)中,X1表示具有1~4个芳香族环的四羧酸残基,Y1表示具有1~4个芳香族环的芳香族二胺残基。通式(2)中,X2表示具有1~4个芳香族环的四羧酸残基,Y2表示在主链上至少具有2个以上的亚烷基二醇单元的二胺残基。)

    正型感光性树脂组合物
    8.
    发明授权

    公开(公告)号:CN104641291B

    公开(公告)日:2017-12-12

    申请号:CN201280075939.3

    申请日:2012-09-24

    CPC classification number: G03F7/039 G03F7/0226 G03F7/0233 G03F7/40

    Abstract: 本发明涉及一种正型感光性树脂组合物,其含有(a)碱溶性聚酰亚胺、(b)在一分子中具有2个以上的环氧基的化合物、和(c)光酸产生剂,并且相对于100重量份的(a)碱溶性聚酰亚胺,(b)在一分子中具有2个以上的环氧基的化合物的含量为5~50重量份。本发明提供一种正型感光性树脂组合物,其在200℃以下的低温加热处理时,可以获得低翘曲、并且不产生由回流导致的图案掩埋、高分辨率的固化膜。

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