正型感光性树脂组合物
    3.
    发明公开

    公开(公告)号:CN104641291A

    公开(公告)日:2015-05-20

    申请号:CN201280075939.3

    申请日:2012-09-24

    CPC classification number: G03F7/039 G03F7/0226 G03F7/0233 G03F7/40

    Abstract: 本发明涉及一种正型感光性树脂组合物,其含有(a)碱溶性聚酰亚胺、(b)在一分子中具有2个以上的环氧基的化合物、和(c)光酸产生剂,并且相对于100重量份的(a)碱溶性聚酰亚胺,(b)在一分子中具有2个以上的环氧基的化合物的含量为5~50重量份。本发明提供一种正型感光性树脂组合物,其在200℃以下的低温加热处理时,可以获得低翘曲、并且不产生由回流导致的图案掩埋、高分辨率的固化膜。

    感光性树脂组合物
    7.
    发明授权

    公开(公告)号:CN1782875B

    公开(公告)日:2012-05-23

    申请号:CN200510128651.X

    申请日:2005-11-23

    CPC classification number: G03F7/0392 G03F7/38

    Abstract: 本发明涉及可以在碱性水溶液中显影,并且即使是厚膜,在分辨率、感光度、图形形状方面都很好的正型感光性树脂组合物。本发明的感光性树脂组合物,其特征为含有具有酚羟基的聚合物(a),具有酚羟基,并且只含1个从羟甲基、烷氧基甲基中选择的基团的化合物(b)以及光敏产酸剂(c)。

    正型感光性树脂先质及其制造方法

    公开(公告)号:CN1471659A

    公开(公告)日:2004-01-28

    申请号:CN99801861.9

    申请日:1999-09-07

    CPC classification number: G03F7/0233 C08G73/1025 C08L79/08

    Abstract: 本发明提供一种可以碱液显影的高光敏度的感光性树脂组合物,它是一种正型感光性树脂先质组合物,其特征在于,其中含有(a)结构单元间的键以通式(1)表示的结构单元为主要成分的聚合物和(b)光酸发生剂,通过光照射及其后续的显影可以形成图案,上述聚合物1g中含有的羧基总量为0.02mmol以上、2.0mmo1以下。R1为具有至少2个以上碳原子的3价~8价有机基团,R2为具有至少2个以上碳原子的2价~6价有机基团、R3为氢或碳原子数1~20的有机基团。n为3~100000的整数,m为1或2,p、q为0~4的整数,且p+q>0。

Patent Agency Ranking