感光性树脂组合物、感光性树脂片、中空结构的制造方法及电子部件

    公开(公告)号:CN113646882A

    公开(公告)日:2021-11-12

    申请号:CN202080024580.1

    申请日:2020-03-18

    Abstract: 本发明的感光性树脂组合物为含有碱溶性聚酰亚胺(a)、含有不饱和键的化合物(b)、热交联性化合物(c)、具有下述通式(1)所示的结构并且具有光漂白性的光聚合引发剂(d‑1)、和具有下述通式(1)所示的结构并且波长405nm下的摩尔吸光系数为1000L/(mol·cm)以上的光聚合引发剂(d‑2)的感光性树脂组合物。(在通式(1)中,R1表示卤原子、羟基、羧基、硝基、氰基、‑NR3R4、碳原子数1~20的1价烃基、碳原子数1~20的酰基或碳原子数1~20的烷氧基,R3和R4各自独立地表示氢原子或碳原子数1~10的烷基。其中,烃基、酰基和烷氧基的氢原子的至少一部分可以被卤原子、羟基、羧基、硝基、氰基或‑NR3R4取代,烃基中、酰基中和烷氧基中的烃基可以被醚键、硫醚键、酯键、硫酯键、酰胺键或氨基甲酸酯键中断。R2表示碳原子数1~5的烷基。式中的*是指在*部分与相邻的基团结合。)进一步,本发明的感光性树脂组合物为含有碱溶性聚酰亚胺(a)、含有不饱和键的化合物(b)、热交联性化合物(c)、2种以上肟酯系光聚合引发剂(d)的感光性树脂组合物。本发明的感光性树脂组合物可以将中空结构体的盖部分高灵敏度并且良好地通过光刻进行图案形成。使用了本发明的感光性树脂组合物的感光性树脂片在具有中空结构体的电子部件的中空结构体的盖用途中是有用的。

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