公开(公告)号：CN111149057A

公开(公告)日：2020-05-12

申请号：CN201880062816.3

申请日：2018-09-21

申请人： 东京应化工业株式会社

发明人： 长峰高志 ,  海保贵昭 ,  中村刚

IPC分类号： G03F7/004 ,  G03F7/038 ,  G03F7/039 ,  G03F7/20 ,  H01L21/027

摘要： 本发明采用一种抗蚀剂组合物，含有：基材成分(A)，对显影液的溶解性因酸的作用而变化；以通式(b1)表示的化合物(B1)。[化1]式中，Rb1表示具有类固醇骨架的碳数为17～50的1价烃基。其中，所述烃基可以包含杂原子。Yb1表示包含选自由羧酸酯基、醚基、碳酸酯基、羰基以及酰胺基构成的组中的至少一种官能团的2价连接基团或单键。Vb1表示亚烷基、氟代亚烷基或单键。Rf1以及Rf2的一方为氢原子，另一方为氟原子。m为1以上的整数，Mm+表示m价的有机阳离子。

公开(公告)号：CN111149057B

公开(公告)日：2023-06-23

申请号：CN201880062816.3

申请日：2018-09-21

申请人： 东京应化工业株式会社

发明人： 长峰高志 ,  海保贵昭 ,  中村刚

IPC分类号： G03F7/004 ,  G03F7/038 ,  G03F7/039 ,  G03F7/20 ,  H01L21/027

摘要： 本发明采用一种抗蚀剂组合物，含有：基材成分(A)，对显影液的溶解性因酸的作用而变化；以通式(b1)表示的化合物(B1)。[化1]式中，Rb1表示具有类固醇骨架的碳数为17～50的1价烃基。其中，所述烃基可以包含杂原子。Yb1表示包含选自由羧酸酯基、醚基、碳酸酯基、羰基以及酰胺基构成的组中的至少一种官能团的2价连接基团或单键。Vb1表示亚烷基、氟代亚烷基或单键。Rf1以及Rf2的一方为氢原子，另一方为氟原子。m为1以上的整数，Mm+表示m价的有机阳离子。

公开(公告)号：CN114746807A

公开(公告)日：2022-07-12

申请号：CN202080082676.3

申请日：2020-11-27

申请人： 东京应化工业株式会社

发明人： 染谷康夫 ,  海保贵昭 ,  阿出川穂

IPC分类号： G03F7/004 ,  G03F7/039 ,  G03F7/20

摘要： 本发明涉及一种抗蚀剂组合物，通过曝光产生酸、且对显影液的溶解性因酸的作用而变化。含有具有以通式(a0‑1)表示的结构单元(a0)的高分子化合物(A1)、以通式(b1)表示的化合物(B1)以及以通式(d1)表示的化合物(D1)。R为氢原子等；Va01为2价的连接基团；na01为1～2的整数；Ra01为具有氰基等的含内酯环式基；Yb01为2价的连接基团或单键；Lb01为‑C(＝O)‑O‑等；Rb01～Rb03为烷基；Rb04～Rb06为烷基等；nb04为0～4的整数；nb05～nb06为0～5的整数；X‑为反荷阴离子；Rd01为环式基等；Mm+为m价的有机阳离子。[化1]