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公开(公告)号：CN112673316B
公开(公告)日：2024-01-23
申请号：CN201980058928.6
申请日：2019-09-05
申请人： 东京应化工业株式会社
发明人： 中村刚
IPC分类号： G03F7/039 , C08F220/28 , C08F224/00
摘要： 一种抗蚀剂组合物，含有对显影液的溶解性因酸的作用而变化的基材成分(A)，所述基材成分(A)含有具有由下述式(a1‑1)表示的结构单元(a1)的高分子化合物(A1)。式中，R为氢原子、碳数为1～5的烷基或碳数为1～5的卤代烷基，Vax1为单键或2价的连接基团，na0为0～2的整数，R01为甲基或乙基。
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公开(公告)号：CN111149057B
公开(公告)日：2023-06-23
申请号：CN201880062816.3
申请日：2018-09-21
申请人： 东京应化工业株式会社
IPC分类号： G03F7/004 , G03F7/038 , G03F7/039 , G03F7/20 , H01L21/027
摘要： 本发明采用一种抗蚀剂组合物，含有：基材成分(A)，对显影液的溶解性因酸的作用而变化；以通式(b1)表示的化合物(B1)。[化1]式中，Rb1表示具有类固醇骨架的碳数为17～50的1价烃基。其中，所述烃基可以包含杂原子。Yb1表示包含选自由羧酸酯基、醚基、碳酸酯基、羰基以及酰胺基构成的组中的至少一种官能团的2价连接基团或单键。Vb1表示亚烷基、氟代亚烷基或单键。Rf1以及Rf2的一方为氢原子，另一方为氟原子。m为1以上的整数，Mm+表示m价的有机阳离子。
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公开(公告)号：CN107844030A
公开(公告)日：2018-03-27
申请号：CN201710831056.5
申请日：2017-09-15
申请人： 东京应化工业株式会社
摘要： 一种抗蚀剂组合物，其特征在于，包含高分子化合物(A1)和由以通式(b1-1)表示的化合物构成的产酸剂(B1)，该高分子化合物(A1)具有0～20摩尔％包含含极性基团的脂肪族烃基的结构单元(a3)。式(b1-1)中，R101为具有至少1个羟基作为取代基的烃基。Y101为单键或含氧原子的2价连接基团。V101为单键、亚烷基或氟代亚烷基。R102为氟原子或碳数1～5的氟代烷基。M'm+为m价的有机阳离子。[化1]
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公开(公告)号：CN101470349B
公开(公告)日：2012-07-18
申请号：CN200810173347.0
申请日：2008-11-13
申请人： 东京应化工业株式会社
CPC分类号： G03F7/0045 , C07D327/02 , C07D327/04 , C07D497/08 , C08K5/36 , C08K5/42 , G03F7/0046 , G03F7/0397 , Y10S430/106 , Y10S430/111 , Y10S430/122 , Y10S430/123
摘要： 本发明提供抗蚀剂组合物、使用该抗蚀剂组合物的抗蚀剂图案的形成方法、用作该抗蚀剂组合物用产酸剂的新型化合物、用作该化合物的前体的化合物以及该产酸剂。其中，涉及通式(I)表示的化合物；以及通式(b1-1)表示的化合物(式中，Q1是2价连接基团或单键；Y1是可具有取代基的亚烷基或可具有取代基的氟代亚烷基；X表示可具有取代基的碳原子数为3～30的环式基，该环结构中具有-SO2-键。M+是碱金属离子。A+是有机阳离子。)x-Q1-Y1-SO3- M+ …(I)X-Q1-Y1-SO3- A+ …(b1-1)。
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公开(公告)号：CN101408728B
公开(公告)日：2012-03-21
申请号：CN200810212866.3
申请日：2008-09-10
申请人： 东京应化工业株式会社
摘要： 本发明涉及含有能用作产酸剂的新型化合物的抗蚀剂组合物、抗蚀剂图案形成方法、所述化合物、能用作所述化合物的前体的化合物及其制造方法。其中，涉及式(I)表示的化合物以及式(b1-1)表示的化合物式，其中，X是-O-、-S-、-O-R3-或-S-R4-，R3和R4分别独立地是碳原子数为1～5的亚烷基；R2是碳原子数为1～6的烷基、碳原子数为1～6的烷氧基、碳原子数为1～6的卤代烷基、卤原子、碳原子数为1～6的羟烷基、羟基或氰基；a是0～2的整数；Q1是碳原子数为1～12的亚烷基或单键；Y1是碳原子数为1～4的亚烷基或氟代亚烷基；M+是碱金属离子；A+是有机阳离子。
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公开(公告)号：CN112673316A
公开(公告)日：2021-04-16
申请号：CN201980058928.6
申请日：2019-09-05
申请人： 东京应化工业株式会社
发明人： 中村刚
IPC分类号： G03F7/039 , C08F220/28 , C08F224/00
摘要： 一种抗蚀剂组合物，含有对显影液的溶解性因酸的作用而变化的基材成分(A)，所述基材成分(A)含有具有由下述式(a1‑1)表示的结构单元(a1)的高分子化合物(A1)。式中，R为氢原子、碳数为1～5的烷基或碳数为1～5的卤代烷基，Vax1为单键或2价的连接基团，na0为0～2的整数，R01为甲基或乙基。
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公开(公告)号：CN116745699B
公开(公告)日：2024-03-22
申请号：CN202180083350.7
申请日：2021-11-19
申请人： 东京应化工业株式会社
摘要： 一种抗蚀剂组合物，含有基材成分(A)、产酸剂成分(B)、可光降解的碱(D0)，可光降解的碱(D0)包含以通式(d0‑1)表示的化合物(D01)及以通式(d0‑2)表示的化合物(D02)。式中，Rd01为可具有取代基的链状或环状的脂肪族烃基。n01为1～10的整数。Rd02为具有氧原子(＝O)的环状的脂肪族烃基。m为1以上的整数，Mm+为m价的有机阳离子。#imgabs0#
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公开(公告)号：CN111149057A
公开(公告)日：2020-05-12
申请号：CN201880062816.3
申请日：2018-09-21
申请人： 东京应化工业株式会社
IPC分类号： G03F7/004 , G03F7/038 , G03F7/039 , G03F7/20 , H01L21/027
摘要： 本发明采用一种抗蚀剂组合物，含有：基材成分(A)，对显影液的溶解性因酸的作用而变化；以通式(b1)表示的化合物(B1)。[化1]式中，Rb1表示具有类固醇骨架的碳数为17～50的1价烃基。其中，所述烃基可以包含杂原子。Yb1表示包含选自由羧酸酯基、醚基、碳酸酯基、羰基以及酰胺基构成的组中的至少一种官能团的2价连接基团或单键。Vb1表示亚烷基、氟代亚烷基或单键。Rf1以及Rf2的一方为氢原子，另一方为氟原子。m为1以上的整数，Mm+表示m价的有机阳离子。
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公开(公告)号：CN110275395A
公开(公告)日：2019-09-24
申请号：CN201910194272.2
申请日：2019-03-14
申请人： 东京应化工业株式会社
摘要： 提供抗蚀剂组合物以及抗蚀剂图案形成方法。一种抗蚀剂组合物，其是含有对显影液的溶解性因酸的作用而变化的基材成分(A)和通过曝光产生酸的产酸剂成分(B)的抗蚀剂组合物，上述基材成分(A)含有高分子化合物(A1)，所述高分子化合物(A1)含有具有酸分解性基团的结构单元(a1)，上述具有酸分解性基团的结构单元(a1)相对于上述高分子化合物(A1)的全部结构单元以51摩尔％～59摩尔％含有，上述具有酸分解性基团的结构单元(a1)含有下述式(a1－1)表示的结构单元(式中，R表示氢原子、烷基或卤代烷基；Z表示单键或亚烷基；Cp为式(Cp－1)表示的基团；R1为叔烷基；np为正整数；＊表示与Z的键合位置)。
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公开(公告)号：CN102344437B
公开(公告)日：2014-05-07
申请号：CN201110206830.6
申请日：2008-11-13
申请人： 东京应化工业株式会社
IPC分类号： C07D327/04 , C07D333/46 , C07D335/02 , C07D333/76 , C07C381/12
CPC分类号： G03F7/0045 , C07D327/02 , C07D327/04 , C07D497/08 , C08K5/36 , C08K5/42 , G03F7/0046 , G03F7/0397 , Y10S430/106 , Y10S430/111 , Y10S430/122 , Y10S430/123
摘要： 本发明提供抗蚀剂组合物、使用该抗蚀剂组合物的抗蚀剂图案的形成方法、用作该抗蚀剂组合物用产酸剂的化合物、用作该化合物的前体的化合物以及该产酸剂。其中，涉及通式(I)表示的化合物；以及通式(b1-1)表示的化合物(式中，Q1是2价连接基团或单键；Y1是可具有取代基的亚烷基或可具有取代基的氟代亚烷基；X表示可具有取代基的碳原子数为3～30的环式基，该环结构中具有-SO2-键。M+是碱金属离子。A+是有机阳离子。)
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