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公开(公告)号：CN114792639A
公开(公告)日：2022-07-26
申请号：CN202210041556.X
申请日：2022-01-14
Applicant: 东京毅力科创株式会社
IPC: H01L21/67 , H01L21/677
Abstract: 本发明提供能够缩短从大气气氛向低湿度环境转变的转变时间的技术。本发明的一个方式的控制方法是基片输送模块的控制方法，所述基片输送模块包括：设置有风扇的第1室；第2室，其由所述风扇从所述第1室被送入置换气体，且包含输送基片的输送装置；将所述第1室和所述第2室连通并使所述置换气体循环的循环管线；和设置于所述循环管线的阀，所述控制方法包括：使所述风扇停止，且将所述阀关闭，将所述第1室内和所述第2室内置换为所述置换气体的置换步骤；和使所述风扇开启，且将所述阀打开，经由所述循环管线使所述置换气体循环的循环步骤，在所述置换步骤中，进行控制以预先决定的时间使所述风扇开启且将所述阀打开。
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