公开(公告)号：CN102693908B

公开(公告)日：2015-11-25

申请号：CN201210040852.4

申请日：2012-02-21

申请人： 东京毅力科创株式会社

发明人： 守屋刚 ,  丰泉俊介 ,  高广克之

IPC分类号： H01L21/3065 ,  F04D19/04

CPC分类号： F04B37/08 ,  Y10S29/902 ,  Y10S55/05 ,  Y10S264/48 ,  Y10T29/49316 ,  Y10T156/1043

摘要： 本发明提供一种粒子捕捉单元，能够防止排气效率降低。构成暴露于微粒(P)飞来的空间的微粒捕集单元(40)的第一捕集单元(40a)具备：由多个第一不锈钢(44a)构成的第一网状层(44)和由多个第二不锈钢(45a)构成的第二网状层(45)，第一不锈钢(44a)的粗细小于第二不锈钢(45a)的粗细，第一网状层(44)中的第一不锈钢(44a)的配置密度高于第二网状层(45)中的第二不锈钢(45a)的配置密度，第二网状层(45)介于第一网状层(44)与微粒(P)飞来的空间之间，通过烧结使第一网状层(44)与第二网状层(45)固化而互相接合。

公开(公告)号：CN102693908A

公开(公告)日：2012-09-26

申请号：CN201210040852.4

申请日：2012-02-21

申请人： 东京毅力科创株式会社

发明人： 守屋刚 ,  丰泉俊介 ,  高广克之

IPC分类号： H01L21/3065 ,  F04D19/04

CPC分类号： F04B37/08 ,  Y10S29/902 ,  Y10S55/05 ,  Y10S264/48 ,  Y10T29/49316 ,  Y10T156/1043

摘要： 本发明提供一种粒子捕捉单元，能够防止排气效率降低。构成暴露于微粒(P)飞来的空间的微粒捕集单元(40)的第一捕集单元(40a)具备：由多个第一不锈钢(44a)构成的第一网状层(44)和由多个第二不锈钢(45a)构成的第二网状层(45)，第一不锈钢(44a)的粗细小于第二不锈钢(45a)的粗细，第一网状层(44)中的第一不锈钢(44a)的配置密度高于第二网状层(45)中的第二不锈钢(45a)的配置密度，第二网状层(45)介于第一网状层(44)与微粒(P)飞来的空间之间，通过烧结使第一网状层(44)与第二网状层(45)固化而互相接合。