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公开(公告)号：CN113193324B
公开(公告)日：2022-05-31
申请号：CN202110067295.4
申请日：2021-01-19
Applicant: 东京毅力科创株式会社
Abstract: 本发明提供定向耦合器、处理基片的装置和处理基片的方法，能够使作为副线路的耦合线路与作为定向耦合器的主线路的中心导体疏耦合，并且得到良好的定向特性。在定向耦合器中，中空同轴线路包括构成主线路的中心导体和以包围中心导体的周围的方式设置的形成有开口部的外部导体，电介质基片以覆盖开口部的方式设置，并设置有接地的膜状的接地导体，该接地导体分别覆盖隔着上述开口部与上述中心导体相对的背面侧和与上述背面侧相反的正面侧。耦合线路是设置于由上述背面侧的上述接地导体包围的区域内设置的副线路。并且，在正面侧的上述接地导体，设置有将隔着上述电介质基片与上述耦合线路相对的区域内的导体膜的一部分去除而得的导体去除部。
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公开(公告)号：CN111756338B
公开(公告)日：2025-02-14
申请号：CN202010194918.X
申请日：2020-03-19
Applicant: 东京毅力科创株式会社
Abstract: 本发明提供高频供给装置和高频电功率的供给方法。该高频供给装置包括：将从振荡器供给的高频放大而供给到负载的放大部；检测从放大部供给到负载的电流、电压或者电功率的参数的参数检测部；供给驱动放大部的驱动电流的电流供给部；指令信号输出部，其基于检测到的参数，输出改变放大部的放大率的指令信号以使得该参数成为目标值；以及第1异常检测部或者第2异常检测部，其中第1异常检测部监视指令信号来检测是否存在异常，第2异常检测部包含检测驱动电流的电流检测部和存储该驱动电流的上限值及下限值的电流数据存储部，并基于该上限值和下限值检测是否存在异常。本发明能够在供给高频电功率时掌握放大部的劣化或者检测器的异常。
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公开(公告)号：CN113193324A
公开(公告)日：2021-07-30
申请号：CN202110067295.4
申请日：2021-01-19
Applicant: 东京毅力科创株式会社
Abstract: 本发明提供定向耦合器、处理基片的装置和处理基片的方法，能够使作为副线路的耦合线路与作为定向耦合器的主线路的中心导体疏耦合，并且得到良好的定向特性。在定向耦合器中，中空同轴线路包括构成主线路的中心导体和以包围中心导体的周围的方式设置的形成有开口部的外部导体，电介质基片以覆盖开口部的方式设置，并设置有接地的膜状的接地导体，该接地导体分别覆盖隔着上述开口部与上述中心导体相对的背面侧和与上述背面侧相反的正面侧。耦合线路是设置于由上述背面侧的上述接地导体包围的区域内设置的副线路。并且，在正面侧的上述接地导体，设置有将隔着上述电介质基片与上述耦合线路相对的区域内的导体膜的一部分去除而得的导体去除部。
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公开(公告)号：CN111756338A
公开(公告)日：2020-10-09
申请号：CN202010194918.X
申请日：2020-03-19
Applicant: 东京毅力科创株式会社
Abstract: 本发明提供高频供给装置和高频电功率的供给方法。该高频供给装置包括：将从振荡器供给的高频放大而供给到负载的放大部；检测从放大部供给到负载的电流、电压或者电功率的参数的参数检测部；供给驱动放大部的驱动电流的电流供给部；指令信号输出部，其基于检测到的参数，输出改变放大部的放大率的指令信号以使得该参数成为目标值；以及第1异常检测部或者第2异常检测部，其中第1异常检测部监视指令信号来检测是否存在异常，第2异常检测部包含检测驱动电流的电流检测部和存储该驱动电流的上限值及下限值的电流数据存储部，并基于该上限值和下限值检测是否存在异常。本发明能够在供给高频电功率时掌握放大部的劣化或者检测器的异常。
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