公开(公告)号：CN101120434A

公开(公告)日：2008-02-06

申请号：CN200680004934.6

申请日：2006-02-08

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 城坂惠 ,  富田浩 ,  田所真任

IPC: H01L21/027 ,  G03F7/38

CPC classification number: H01L21/67109 ,  G03F7/38 ,  H01L21/67103 ,  H01L21/67178 ,  H01L21/67184 ,  H01L21/67248 ,  H01L21/67748

Abstract: 为使光刻胶图案的线宽在晶圆面内均匀形成，进行热板的温度设定。PEB装置的热板划分成多个热板区域，可对每个热板区域进行温度设定。热板的各热板区域分别设定温度校正值，用以对置于热板上的晶圆进行面内温度调整。用根据热板中热处理形成的光刻胶图案的线宽和温度校正值之间的相关作成的计算模型，计算并设定该热板的各热板区域的温度校正值。计算模型M，根据光刻胶图案的线宽测定值，计算出使晶圆面内的线宽成为均匀的温度校正值。

公开(公告)号：CN100550300C

公开(公告)日：2009-10-14

申请号：CN200680004934.6

申请日：2006-02-08

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 城坂惠 ,  富田浩 ,  田所真任

IPC: H01L21/027 ,  G03F7/38

CPC classification number: H01L21/67109 ,  G03F7/38 ,  H01L21/67103 ,  H01L21/67178 ,  H01L21/67184 ,  H01L21/67248 ,  H01L21/67748

Abstract: 为使光刻胶图案的线宽在晶圆面内均匀形成，进行热板的温度设定。PEB装置的热板划分成多个热板区域，可对每个热板区域进行温度设定。热板的各热板区域分别设定温度校正值，用以对置于热板上的晶圆进行面内温度调整。用根据热板中热处理形成的光刻胶图案的线宽和温度校正值之间的相关作成的计算模型，计算并设定该热板的各热板区域的温度校正值。计算模型M，根据光刻胶图案的线宽测定值，计算出使晶圆面内的线宽成为均匀的温度校正值。

公开(公告)号：CN114650396A

公开(公告)日：2022-06-21

申请号：CN202111498264.0

申请日：2021-12-09

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 城坂惠 ,  富田浩 ,  森拓也 ,  内栫英树

IPC: H04N7/18 ,  H04N5/262

Abstract: 本发明提供一种显示装置、显示方法以及存储介质，能够容易地掌握过去执行的基板处理的状态。显示装置是在显示画面中显示与对多个基板执行规定的基板处理的基板处理装置中的处理有关的信息的装置。显示装置具备显示控制部，所述显示控制部能够根据来自用户的指示，使显示画面中显示基于过去在基板处理装置内拍摄多个基板中的作为显示对象的基板所得到的第一摄像数据的图像，并且能够根据来自用户的指示，使显示画面中显示基于过去在基板处理装置内拍摄作为显示对象的基板所得到的第二摄像数据的图像。第一摄像数据与第二摄像数据是在不同的定时进行拍摄所得到的数据，或者第一摄像数据与第二摄像数据是拍摄不同的摄像范围所得到的数据。