公开(公告)号：CN100485533C

公开(公告)日：2009-05-06

申请号：CN200610151659.2

申请日：2006-09-11

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 藤井克久 ,  野村优人 ,  大野修二 ,  曾原俊史

IPC: G03F7/20 ,  H01L21/00 ,  G05B19/418

CPC classification number: G05B19/048 ,  G05B2219/24055 ,  G05B2219/45031

Abstract: 本发明提供一种基板处理系统、基板处理方法、验证程序和记录有验证程序的计算机可读取记录介质。基板处理系统包括：计算机(50)；记录有处理方案数据(15)的存储装置(51)；记录在所述存储装置(51)内，使所述计算机(50)按照所述处理方案数据(15)使所述基板处理装置(1)动作的方案执行程序(16)；记录在所述存储装置(51)内，使所述计算机(50)将所述方案执行程序(16)对所述基板处理装置(1)的动作指令作为日志数据输出的日志数据输出程序(19)；以及记录在所述存储装置(51)内，使所述计算机(50)对通过所述日志数据输出程序(19)输出的日志数据和在所述处理方案数据(15)中记载的处理内容进行比较的比较核对程序(17)。

公开(公告)号：CN1928723A

公开(公告)日：2007-03-14

申请号：CN200610151659.2

申请日：2006-09-11

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 藤井克久 ,  野村优人 ,  大野修二 ,  曾原俊史

IPC: G03F7/20 ,  H01L21/00 ,  G05B19/418

CPC classification number: G05B19/048 ,  G05B2219/24055 ,  G05B2219/45031

Abstract: 本发明提供一种基板处理系统、基板处理方法、验证程序和记录有验证程序的计算机可读取记录介质。基板处理系统包括：计算机(50)；记录有处理方案数据(15)的存储装置(51)；记录在所述存储装置(51)内，使所述计算机(50)按照所述处理方案数据(15)使所述基板处理装置(1)动作的方案执行程序(16)；记录在所述存储装置(51)内，使所述计算机(50)将所述方案执行程序(16)对所述基板处理装置(1)的动作指令作为日志数据输出的日志数据输出程序(19)；以及记录在所述存储装置(51)内，使所述计算机(50)对通过所述日志数据输出程序(19)输出的日志数据和在所述处理方案数据(15)中记载的处理内容进行比较的比较核对程序(17)。