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公开(公告)号：CN100432687C
公开(公告)日：2008-11-12
申请号：CN200380106057.X
申请日：2003-12-09
Applicant: 东京毅力科创株式会社
IPC: G01R31/28
CPC classification number: G01R31/2886 , G01R31/2898 , G01R31/3161 , G01R31/31926
Abstract: 本发明的检验方法从测试器(20)的多个驱动器(21)经由与各测试器(20)连接的第一、第二探针(11A、11B)对中的一个第一探针(11A)向各电极(P)施加烧结用的电压。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN1726398A
公开(公告)日：2006-01-25
申请号：CN200380106057.X
申请日：2003-12-09
Applicant: 东京毅力科创株式会社
IPC: G01R31/28
CPC classification number: G01R31/2886 , G01R31/2898 , G01R31/3161 , G01R31/31926
Abstract: 本发明的检验方法从测试器(20)的多个驱动器(21)经由与各测试器(20)连接的第一、第二探针(11A、11B)对中的一个第一探针(11A)向各电极(P)施加烧结用的电压。
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公开(公告)号：CN101349736B
公开(公告)日：2011-10-26
申请号：CN200810133596.7
申请日：2008-07-21
Applicant: 东京毅力科创株式会社
CPC classification number: G01R31/2886 , G01R1/06766 , G01R31/31926
Abstract: 提供一种检查装置、探针卡及检查方法，该检查装置在检查之前利用熔结现象来实现探针与晶片上的电极之间的电导通，通过简单的电路结构来实现较短的检查时间。在检查装置的探针卡上的两个一组的各探针对的每个探针对上形成熔结电路。在各熔结电路上连接电容器。各熔结电路并联连接在具有充电用电源的电力提供电路上。通过电力提供电路对各电容器一起进行蓄电。使探针对接触晶片W的电极P，通过在电容器中蓄积的电力对探针对施加高电压，利用熔结现象来实现各探针与电极P之间的电导通。其后根据被传送到各探针的检查用的电信号来进行电气特性的检查。
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公开(公告)号：CN101349736A
公开(公告)日：2009-01-21
申请号：CN200810133596.7
申请日：2008-07-21
Applicant: 东京毅力科创株式会社
CPC classification number: G01R31/2886 , G01R1/06766 , G01R31/31926
Abstract: 提供一种检查装置、探针卡及检查方法，该检查装置在检查之前利用熔结现象来实现探针与晶片上的电极之间的电导通，通过简单的电路结构来实现较短的检查时间。在检查装置的探针卡上的两个一组的各探针对的每个探针对上形成熔结电路。在各熔结电路上连接电容器。各熔结电路并联连接在具有充电用电源的电力提供电路上。通过电力提供电路对各电容器一起进行蓄电。使探针对接触晶片W的电极P，通过在电容器中蓄积的电力对探针对施加高电压，利用熔结现象来实现各探针与电极P之间的电导通。其后根据被传送到各探针的检查用的电信号来进行电气特性的检查。
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公开(公告)号：CN101042421B
公开(公告)日：2011-01-05
申请号：CN200710089406.1
申请日：2007-03-21
Applicant: 东京毅力科创株式会社
CPC classification number: G01R31/2889 , G01R1/06766
Abstract: 本发明提供一种能够防止向试验对象物施加过电压的试验对象物的保护电路。测试电路(5)包括：直流电源(13)；集电极通过测试电路保护用IGBT(16)与直流电源(13)的正极连接的负载线圈(17)；连接该负载线圈(17)的另一端和具有多个IGBT(11)的功率器件(10)的集电极侧的导体(12a)的配线(18)；连接功率器件(10)的发射极侧的导体(12b)和直流电源(13)的负极的配线(20)；和与功率器件(10)并联配置，并且具有IGBT的功率器件保护电路(21)。在功率器件(10)的L负载试验中，功率器件保护电路(21)的IGBT从断开状态切换至接通状态，然后功率器件(10)的各IGBT(11)从接通状态切换至断开状态。
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公开(公告)号：CN101042421A
公开(公告)日：2007-09-26
申请号：CN200710089406.1
申请日：2007-03-21
Applicant: 东京毅力科创株式会社
CPC classification number: G01R31/2889 , G01R1/06766
Abstract: 本发明提供一种能够防止向试验对象物施加过电压的试验对象物的保护电路。测试电路(5)包括：直流电源(13)；集电极通过测试电路保护用IGBT(16)与直流电源(13)的正极连接的负载线圈(17)；连接该负载线圈(17)的另一端和具有多个IGBT(11)的功率器件(10)的集电极侧的导体(12a)的配线(18)；连接功率器件(10)的发射极侧的导体(12b)和直流电源(13)的负极的配线(20)；和与功率器件(10)并联配置，并且具有IGBT的功率器件保护电路(21)。在功率器件(10)的L负载试验中，功率器件保护电路(21)的IGBT从断开状态切换至接通状态，然后功率器件(10)的各IGBT(11)从接通状态切换至断开状态。
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