公开(公告)号：CN100395877C

公开(公告)日：2008-06-18

申请号：CN200480002416.1

申请日：2004-01-16

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 小松茂和 ,  百留孝宪 ,  茶谷博美 ,  林尚久 ,  茂野幸英

IPC: H01L21/66

CPC classification number: G01R31/2891 ,  G01R31/2887

Abstract: 本发明提供一种对晶片状基板(W)上形成的被检查体的电特性进行检查的、具备控制位置测量机构的探针装置(100)，该探针装置包括：探测器室(29)；在该探测器室内配置、用于载置被检查体的载置台(6)；使该载置台在X、Y、Z以及θ方向移动的移动机构(16)；具有多只探针(26)、与该载置台相对配置的探针板(14)；和第一光学测距仪(4a，4b)，该第一光学测距仪使光照射到在该载置台上载置的被检查体表面，根据其反射光测量被检查体在Z轴方向的位置，此外，可以具备第二光学测距仪(5a，5b)。

公开(公告)号：CN1739194A

公开(公告)日：2006-02-22

申请号：CN200480002416.1

申请日：2004-01-16

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 小松茂和 ,  百留孝宪 ,  茶谷博美 ,  林尚久 ,  茂野幸英

IPC: H01L21/66

CPC classification number: G01R31/2891 ,  G01R31/2887

Abstract: 本发明提供一种对晶片状基板(W)上形成的被检查体的电特性进行检查的、具备控制位置测量机构的探针装置(100)，该探针装置包括：探测器室(29)；在该探测器室内配置、用于载置被检查体的载置台(6)；使该载置台在X、Y、Z以及θ方向移动的移动机构(16)；具有多只探针(26)、与该载置台相对配置的探针板(14)；和第一光学测距仪(4a，4b)，该第一光学测距仪使光照射到在该载置台上载置的被检查体表面，根据其反射光测量被检查体在Z轴方向的位置，此外，可以具备第二光学测距仪(5a，5b)。

公开(公告)号：CN1692486A

公开(公告)日：2005-11-02

申请号：CN200380100613.2

申请日：2003-10-16

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 茶谷博美 ,  林尚久 ,  小松茂和

IPC: H01L21/66

Abstract: 该探针痕迹读取装置(1)，读取在半导体晶片(90)所包含的半导体芯片的电极上所形成的探针痕迹，包括：摄像该半导体晶片(90)，作为图像信号(Si)来输出的CCD照相机(20)；将该CCD照相机(20)所应该摄像的对象位置进行光学放大的光学部(21)；光源(30)，通过从提供闪光信号(Sf)的时刻开始仅短时间发光，来照明CCD照相机(20)应该摄像的对象位置；XY工作台(40)，基于马达控制信号(Sm)，向X方向和Y方向可移动地载置半导体晶片(90)，由此改变CCD照相机(20)摄像的对象；计算机(10)，控制它们，在接收所述图像信号(Si)并整理处理后保存该图像。

公开(公告)号：CN100587933C

公开(公告)日：2010-02-03

申请号：CN200380100613.2

申请日：2003-10-16

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 茶谷博美 ,  林尚久 ,  小松茂和

IPC: H01L21/66

Abstract: 该探针痕迹读取装置(1)，读取在半导体晶片(90)所包含的半导体芯片的电极上所形成的探针痕迹，包括：摄像该半导体晶片(90)，作为图像信号(Si)来输出的CCD照相机(20)；将该CCD照相机(20)所应该摄像的对象位置进行光学放大的光学部(21)；光源(30)，通过从提供闪光信号(Sf)的时刻开始仅短时间发光，来照明CCD照相机(20)应该摄像的对象位置；XY工作台(40)，基于马达控制信号(Sm)，向X方向和Y方向可移动地载置半导体晶片(90)，由此改变CCD照相机(20)摄像的对象；计算机(10)，控制它们，在接收所述图像信号(Si)并整理处理后保存该图像。