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公开(公告)号：CN110383445B
公开(公告)日：2023-06-16
申请号：CN201880016016.8
申请日：2018-02-01
Applicant: 东京毅力科创株式会社
Abstract: 检查装置具备：卡盘顶部(20)，其用于保持晶圆(W)；探针卡(18)，其与卡盘顶部(20)上的晶圆(W)相对设置，在与晶圆(W)相对的相对面具有多个触针(18a)；弹性框架(23)，其支承探针卡(18)的与晶圆(W)相反的面；波纹管(32)，其围绕探针卡(18)和触针(18a)，在晶圆(W)或与触针(18a)接近或已接触时形成密闭空间(S)；排气路径(34)，其用于对密闭空间(S)进行减压；机械式止挡件(36)，其设置于弹性框架(23)与卡盘顶部(20)之间，在预定的接触形成到晶圆(W)与触针(18a)之间时限制卡盘顶部(20)的上下方向的倾斜。
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公开(公告)号：CN104508812A
公开(公告)日：2015-04-08
申请号：CN201380040633.9
申请日：2013-07-18
Applicant: 东京毅力科创株式会社
CPC classification number: G01R1/07307 , G01R31/2887
Abstract: 本发明提供一种能够良好地进行设置在衬底的半导体器件的电特性检查的衬底检查装置的将衬底与探针卡抵接的方法。将晶片(W)隔着晶片板(37)载置在吸盘部件(22)后搬送至与探针卡(36)的位置，将搬送的晶片(W)与晶片板(37)一起利用升降装置(43)向探针卡(36)移动，使设置在晶片(W)的半导体器件的多个电极与设置在探针卡(36)的多个探针各自抵接后，使晶片(W)进一步向探针卡(36)过驱动，然后，对探针卡(36)与晶片板(37)之间的空间(S)减压，保持半导体器件的电极与探针卡(36)的探针的抵接状态，使吸盘部件(22)从晶片板(37)分离。
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公开(公告)号：CN104508812B
公开(公告)日：2017-03-08
申请号：CN201380040633.9
申请日：2013-07-18
Applicant: 东京毅力科创株式会社
CPC classification number: G01R1/07307 , G01R31/2887
Abstract: 本发明提供一种能够良好地进行设置在衬底的半导体器件的电特性检查的衬底检查装置的将衬底与探针卡抵接的方法。将晶片(W)隔着晶片板(37)载置在吸盘部件(22)后搬送至与探针卡(36)的位置，将搬送的晶片(W)与晶片板使设置在晶片(W)的半导体器件的多个电极与设置在探针卡(36)的多个探针各自抵接后，使晶片(W)进一步向探针卡(36)过驱动，然后，对探针卡(36)与晶片板(37)之间的空间(S)减压，保持半导体器件的电极与探针卡(36)的探针的抵接状态，使吸盘部件(22)从晶片板(37)分离。(37)一起利用升降装置(43)向探针卡(36)移动，
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN100395877C
公开(公告)日：2008-06-18
申请号：CN200480002416.1
申请日：2004-01-16
Applicant: 东京毅力科创株式会社
IPC: H01L21/66
CPC classification number: G01R31/2891 , G01R31/2887
Abstract: 本发明提供一种对晶片状基板(W)上形成的被检查体的电特性进行检查的、具备控制位置测量机构的探针装置(100)，该探针装置包括：探测器室(29)；在该探测器室内配置、用于载置被检查体的载置台(6)；使该载置台在X、Y、Z以及θ方向移动的移动机构(16)；具有多只探针(26)、与该载置台相对配置的探针板(14)；和第一光学测距仪(4a，4b)，该第一光学测距仪使光照射到在该载置台上载置的被检查体表面，根据其反射光测量被检查体在Z轴方向的位置，此外，可以具备第二光学测距仪(5a，5b)。
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公开(公告)号：CN110211889B
公开(公告)日：2023-07-21
申请号：CN201910145368.X
申请日：2019-02-27
Applicant: 东京毅力科创株式会社
IPC: H01L21/66
Abstract: 本发明提供一种基板内的器件用的检查系统。一实施方式的检查系统具有检查模块、对准模块、支承机构以及固定机构。检查模块具有多个测试器，提供多个检查室。多个测试器分别能够收容于多个检查室。对准模块具有对准器。对准器设置于对准空间内。对准器相对于多个测试器中的收容到对准空间内的测试器调整基板的位置。支承机构从下方支承收容到对准空间内的测试器。固定机构构成为，与支承机构协作来固定被收容到对准空间内的测试器。
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公开(公告)号：CN1739194A
公开(公告)日：2006-02-22
申请号：CN200480002416.1
申请日：2004-01-16
Applicant: 东京毅力科创株式会社
IPC: H01L21/66
CPC classification number: G01R31/2891 , G01R31/2887
Abstract: 本发明提供一种对晶片状基板(W)上形成的被检查体的电特性进行检查的、具备控制位置测量机构的探针装置(100)，该探针装置包括：探测器室(29)；在该探测器室内配置、用于载置被检查体的载置台(6)；使该载置台在X、Y、Z以及θ方向移动的移动机构(16)；具有多只探针(26)、与该载置台相对配置的探针板(14)；和第一光学测距仪(4a，4b)，该第一光学测距仪使光照射到在该载置台上载置的被检查体表面，根据其反射光测量被检查体在Z轴方向的位置，此外，可以具备第二光学测距仪(5a，5b)。
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公开(公告)号：CN110383445A
公开(公告)日：2019-10-25
申请号：CN201880016016.8
申请日：2018-02-01
Applicant: 东京毅力科创株式会社
Abstract: 检查装置具备：卡盘顶部(20)，其用于保持晶圆(W)；探针卡(18)，其与卡盘顶部(20)上的晶圆(W)相对设置，在与晶圆(W)相对的相对面具有多个触针(18a)；弹性框架(23)，其支承探针卡(18)的与晶圆(W)相反的面；波纹管(32)，其围绕探针卡(18)和触针(18a)，在晶圆(W)或与触针(18a)接近或已接触时形成密闭空间(S)；排气路径(34)，其用于对密闭空间(S)进行减压；机械式止挡件(36)，其设置于弹性框架(23)与卡盘顶部(20)之间，在预定的接触形成到晶圆(W)与触针(18a)之间时限制卡盘顶部(20)的上下方向的倾斜。
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公开(公告)号：CN110211889A
公开(公告)日：2019-09-06
申请号：CN201910145368.X
申请日：2019-02-27
Applicant: 东京毅力科创株式会社
IPC: H01L21/66
Abstract: 本发明提供一种基板内的器件用的检查系统。一实施方式的检查系统具有检查模块、对准模块、支承机构以及固定机构。检查模块具有多个测试器，提供多个检查室。多个测试器分别能够收容于多个检查室。对准模块具有对准器。对准器设置于对准空间内。对准器相对于多个测试器中的收容到对准空间内的测试器调整基板的位置。支承机构从下方支承收容到对准空间内的测试器。固定机构构成为，与支承机构协作来固定被收容到对准空间内的测试器。
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