公开(公告)号：CN104183518B

公开(公告)日：2018-12-28

申请号：CN201410228400.8

申请日：2014-05-27

申请人： 东京毅力科创株式会社

发明人： 高桥喜一 ,  小林健 ,  高畠裕二 ,  伊藤尚秀 ,  菅原克昭

IPC分类号： H01L21/66 ,  H01L21/67

摘要： 本发明提供一种能旋转状态检测装置和方法、以及使用该装置的基板处理装置和使用该方法的基板处理方法。一种能旋转状态检测装置，其用于对成为如下状态的情况进行检测：基板(W)被载置到形成在设置于腔室内的旋转台的表面上的基板载置用的凹部上，即使使上述旋转台旋转上述基板也不会从上述凹部飞出。上述能旋转状态检测装置具有能旋转状态检测部件，该能旋转状态检测部件对如下情况进行检测：在上述基板被载置到上述凹部上时，上述基板的端部的表面的高度成为能够使上述旋转台开始旋转的规定值以下。

公开(公告)号：CN104183522A

公开(公告)日：2014-12-03

申请号：CN201410225161.0

申请日：2014-05-26

申请人： 东京毅力科创株式会社

发明人： 菊池仁 ,  小林健 ,  吉田光广 ,  芳贺雄太 ,  高畠裕二 ,  伊藤尚秀 ,  菅原克昭 ,  千叶昌明 ,  佐藤弘幸

IPC分类号： H01L21/67 ,  H01L21/66

CPC分类号： C23C16/52 ,  C23C16/45551

摘要： 本发明提供一种基板脱离检测装置和方法、以及使用该装置的基板处理装置和使用该方法的基板处理方法。一种基板脱离检测装置，其用于基板处理装置，该基板处理装置在基板被载置到基板载置用的凹部上的状态下使旋转台连续旋转，来进行上述基板的处理，该基板载置用的凹部形成在大致水平地设置于腔室内的上述旋转台的表面，其中，该基板脱离检测装置具有基板脱离判定部件，该基板脱离判定部件通过在上述旋转台的旋转过程中对上述凹部上的上述基板的有无进行判定，从而对上述基板脱离上述凹部的情况进行判定。

公开(公告)号：CN104183522B

公开(公告)日：2018-11-06

申请号：CN201410225161.0

申请日：2014-05-26

申请人： 东京毅力科创株式会社

发明人： 菊池仁 ,  小林健 ,  吉田光广 ,  芳贺雄太 ,  高畠裕二 ,  伊藤尚秀 ,  菅原克昭 ,  千叶昌明 ,  佐藤弘幸

IPC分类号： H01L21/67 ,  H01L21/66

摘要： 本发明提供一种基板脱离检测装置和方法、以及使用该装置的基板处理装置和使用该方法的基板处理方法。一种基板脱离检测装置，其用于基板处理装置，该基板处理装置在基板被载置到基板载置用的凹部上的状态下使旋转台连续旋转，来进行上述基板的处理，该基板载置用的凹部形成在大致水平地设置于腔室内的上述旋转台的表面，其中，该基板脱离检测装置具有基板脱离判定部件，该基板脱离判定部件通过在上述旋转台的旋转过程中对上述凹部上的上述基板的有无进行判定，从而对上述基板脱离上述凹部的情况进行判定。

公开(公告)号：CN104183518A

公开(公告)日：2014-12-03

申请号：CN201410228400.8

申请日：2014-05-27

申请人： 东京毅力科创株式会社

发明人： 高桥喜一 ,  小林健 ,  高畠裕二 ,  伊藤尚秀 ,  菅原克昭

IPC分类号： H01L21/66 ,  H01L21/67

CPC分类号： G06T7/0004 ,  G06T2207/30148

摘要： 本发明提供一种能旋转状态检测装置和方法、以及使用该装置的基板处理装置和使用该方法的基板处理方法。一种能旋转状态检测装置，其用于对成为如下状态的情况进行检测：基板(W)被载置到形成在设置于腔室内的旋转台的表面上的基板载置用的凹部上，即使使上述旋转台旋转上述基板也不会从上述凹部飞出。上述能旋转状态检测装置具有能旋转状态检测部件，该能旋转状态检测部件对如下情况进行检测：在上述基板被载置到上述凹部上时，上述基板的端部的表面的高度成为能够使上述旋转台开始旋转的规定值以下。