公开(公告)号：CN116547784A

公开(公告)日：2023-08-04

申请号：CN202180083075.9

申请日：2021-11-18

Applicant: 东华隆株式会社 ,  福吉米株式会社

Inventor： 盐尻泰广 ,  水津竜夫 ,  田口研良 ,  水野宏昭 ,  益田敬也

IPC: H01L21/3065

Abstract: 提供一种耐等离子体侵蚀性优异、能够长期保护等离子体蚀刻装置的构件不受等离子体侵蚀的影响、有助于设备的稳定生产、构件的长寿命化的喷镀覆膜。作为本发明的一个方式的喷镀材料由复合化物形成，所述复合化物以40mol％以上且80mol％以下的比例包含稀土氟化物，以10mol％以上且40mol％以下的比例包含氟化镁，以0mol％以上且40mol％以下的比例包含氟化钙。

公开(公告)号：CN101274366B

公开(公告)日：2012-02-15

申请号：CN200810090529.1

申请日：2008-03-27

Applicant: 福吉米株式会社 ,  东华隆株式会社

Inventor： 水野宏昭 ,  太和田聪 ,  青木功 ,  安尾典之 ,  水津竜夫 ,  桥本尉

IPC: B22F1/00 ,  C23C4/04 ,  B65G39/00

CPC classification number: C23C4/06 ,  B22F1/0096 ,  B22F3/115 ,  C22C1/0433 ,  C22C1/051 ,  C22C1/1084 ,  Y10T428/12014 ,  Y10T428/12181 ,  Y10T428/12493 ,  Y10T428/12847 ,  Y10T428/26 ,  Y10T428/264 ,  Y10T428/2982 ,  Y10T428/31678

Abstract: 一种热喷涂粉末，含有30～50mass％的碳化铬，剩余的为含有铬、铝、镱、以及钴和镍两者中的至少一种的合金。该热喷涂粉末具有20～60μm的平均粒径。该热喷涂粉末可以含有20mass％或更少的氧化镱以代替所述合金中的一部分。一种通过热喷涂该热喷涂粉末而形成的热喷涂涂层，尤其是一种通过高速火焰喷涂该热喷涂粉末而形成的热喷涂涂层适用于炉底辊。

公开(公告)号：CN101274366A

公开(公告)日：2008-10-01

申请号：CN200810090529.1

申请日：2008-03-27

Applicant: 福吉米株式会社 ,  东华隆株式会社

Inventor： 水野宏昭 ,  太和田聪 ,  青木功 ,  安尾典之 ,  水津竜夫 ,  桥本尉

IPC: B22F1/00 ,  C23C4/04 ,  B65G39/00

CPC classification number: C23C4/06 ,  B22F1/0096 ,  B22F3/115 ,  C22C1/0433 ,  C22C1/051 ,  C22C1/1084 ,  Y10T428/12014 ,  Y10T428/12181 ,  Y10T428/12493 ,  Y10T428/12847 ,  Y10T428/26 ,  Y10T428/264 ,  Y10T428/2982 ,  Y10T428/31678

Abstract: 一种热喷涂粉末，含有30～50mass％的碳化铬，剩余的为含有铬、铝、镱、以及钴和镍两者中的至少一种的合金。该热喷涂粉末具有20～60μm的平均粒径。该热喷涂粉末可以含有20mass％或更少的氧化镱以代替所述合金中的一部分。一种通过热喷涂该热喷涂粉末而形成的热喷涂涂层，尤其是一种通过高速火焰喷涂该热喷涂粉末而形成的热喷涂涂层适用于炉底辊。

公开(公告)号：CN114502766A

公开(公告)日：2022-05-13

申请号：CN202080067777.3

申请日：2020-09-29

Applicant: 东华隆株式会社

Inventor： 黑木信义 ,  水津竜夫

IPC: C23C4/134 ,  C23C4/137 ,  C23C4/11 ,  H05H1/24 ,  H05H1/26

Abstract: 本发明的减压等离子喷涂法是在减压容器(6)内将等离子电源输出功率设为2～10kW，使用直流电弧将工作气体等离子体化以产生等离子体射流(10)，将平均粒径为1～10μm的原料粉末从喷涂枪(3)的供给口(11)供给至等离子体射流(10)，形成喷涂皮膜的减压等离子喷涂法，可以抑制原料粉末的变质，并且形成致密的皮膜。