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公开(公告)号：CN118183612A
公开(公告)日：2024-06-14
申请号：CN202410327932.0
申请日：2024-03-21
Applicant: 东南大学
Abstract: 本发明公开了一种微型MEMS红外传感器及其制备方法，通过在热电堆的上方设置超材料吸波结构，取代传统滤光片实现红外光的高效吸收。通过超材料吸波结构将待测物体辐射的红外光吸收并产生热，引起热电堆的冷热两端存在温差，基于Seebeck效应将温差转化为输出电压，从而实现温度测量。在此基础上，通过对热电堆上方的超材料吸波结构的参数设计，基于朗伯比尔定律构建红外气体传感器，从而实现待测气体浓度测量。在单个红外气体传感器的基础上，在相邻四种红外气体传感器之间设置隔离槽和隔离墙以构成红外气体传感器阵列，从而实现对不同类型气体的测量。本发明实现了非接触式温度和不同类型气体的微型化检测。
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