公开(公告)号：CN118501080A

公开(公告)日：2024-08-16

申请号：CN202410596253.3

申请日：2024-05-14

Applicant: 东南大学

Inventor： 张志强 ,  顾闰淇 ,  李波 ,  燕尚泉 ,  吕丝旭

IPC: G01N21/3504

Abstract: 本发明公开了一种微型化NDIR气体传感器模组，该模组的中空气室包括底板和外罩，外罩的上表面设进气孔，进气孔表面设滤网，外罩的内表面设有至少一个椭圆弧侧壁、多个内侧壁与斜坡；底板上设有用于放置红外光源和红外气体传感器芯体的第一通孔与第二通孔，两通孔的孔心分别与对应椭圆弧侧壁所在椭圆的两个焦点重合，第二通孔位于斜坡的正下方；底板背面设有调理电路，红外光源和红外气体传感器芯体均与调理电路电连接；待测气体通过滤网与进气孔进入气室，红外光源发出的光线经椭圆弧侧壁、多个内侧壁与斜坡的多次反射后进入红外气体传感器芯体。本发明在不降低红外光程长度和灵敏度的情况下，实现了一种高性能微型化NDIR气体传感器模组。

公开(公告)号：CN118183612A

公开(公告)日：2024-06-14

申请号：CN202410327932.0

申请日：2024-03-21

Applicant: 东南大学

Inventor： 张志强 ,  谢宇浩 ,  雷飞隆 ,  吕丝旭

IPC: B81B7/02 ,  B81B7/04 ,  B81C1/00

Abstract: 本发明公开了一种微型MEMS红外传感器及其制备方法，通过在热电堆的上方设置超材料吸波结构，取代传统滤光片实现红外光的高效吸收。通过超材料吸波结构将待测物体辐射的红外光吸收并产生热，引起热电堆的冷热两端存在温差，基于Seebeck效应将温差转化为输出电压，从而实现温度测量。在此基础上，通过对热电堆上方的超材料吸波结构的参数设计，基于朗伯比尔定律构建红外气体传感器，从而实现待测气体浓度测量。在单个红外气体传感器的基础上，在相邻四种红外气体传感器之间设置隔离槽和隔离墙以构成红外气体传感器阵列，从而实现对不同类型气体的测量。本发明实现了非接触式温度和不同类型气体的微型化检测。