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公开(公告)号：CN117616542A
公开(公告)日：2024-02-27
申请号：CN202280048261.3
申请日：2022-03-22
Applicant: 东和株式会社
IPC: H01L21/301 , B24B41/06 , B23Q3/08 , B23Q11/10 , B23Q11/08 , B23Q11/00 , B24B55/06 , B24B55/02 , B24B27/06 , B23Q7/04
Abstract: 本发明使装置结构简化并且减少占据面积，同时防止加工液的飞散，本发明包括：加工台2A、加工台2B，保持密封完毕基板W；第一保持机构3，为了将密封完毕基板W搬送至加工台2A、加工台2B而保持密封完毕基板W；加工机构4，对保持于加工台2A、加工台2B的密封完毕基板W进行加工；移载台5，移动多个制品P；第二保持机构6，为了将多个制品P自加工台2A、加工台2B搬送至移载台5而保持多个制品P；搬送用移动机构7，具有沿着加工台2A、加工台2B及移载台5的排列方向延伸且用以使第一保持机构3及第二保持机构6移动的共用的传递轴71；加工用移动机构8，使加工机构4在水平面上在沿着传递轴71的X方向及与X方向正交的Y方向上分别移动；加工液供给机构12，通过加工用移动机构8而与加工机构4一起移动，自加工进给方向SD的前侧向加工机构4喷射加工液；以及加工液飞散防止机构24，相对于加工机构4而设置于加工进给方向SD的后侧，并且自较加工台2A、加工台2B的上表面更靠下侧的位置覆盖上方，防止加工液的飞散。
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公开(公告)号：CN117178352A
公开(公告)日：2023-12-05
申请号：CN202180093048.X
申请日：2021-12-24
Applicant: 东和株式会社
IPC: H01L21/677
Abstract: 本发明是减少加工装置的占据面积的装置，且包括：加工机构4，对密封完毕基板W进行加工；分类机构20，将经加工的密封完毕基板W分类至托盘21a～托盘21c；以及托盘移动机构24，使托盘21a～托盘21c移动，托盘移动机构24具有载置托盘21a～托盘21c的三个以上的托盘载置部241a～241c，且构成为三个以上的托盘载置部241a～241c配置成一列，并且能够沿着所述一列的方向相互独立地移动至基于分类机构20的分类位置X1。
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公开(公告)号：CN119768902A
公开(公告)日：2025-04-04
申请号：CN202380061616.7
申请日：2023-03-07
Applicant: 东和株式会社
IPC: H01L21/50 , H01L21/677
Abstract: 翘曲矫正系统具备翘曲矫正装置和中继部。翘曲矫正装置矫正第一已成形基板的翘曲，制造第二已成形基板。中继部配置在翘曲矫正装置的外部的加工装置与翘曲矫正装置之间。加工装置进行第二已成形基板的加工。中继部包括第一搬送机构，该第一搬送机构从翘曲矫正装置接收第二已成形基板，并向加工装置搬送第二已成形基板。
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公开(公告)号：CN116940442A
公开(公告)日：2023-10-24
申请号：CN202180093623.6
申请日：2021-12-23
Applicant: 东和株式会社
IPC: B24B45/00
Abstract: 本发明简化具有刀片更换机构的加工装置的装置结构，并且减少占据面积，且本发明包括：切断用工作台2A、切断用工作台2B，通过切断机构4将密封完毕基板W进行加工；切断用移动机构8，使切断机构4在水平面上在相互正交的第一方向及第二方向移动；以及刀片更换机构24，更换切断机构4的刀片41A、刀片41B，切断用移动机构8具有：沿着第一方向夹持切断用工作台2A、切断用工作台2B而设置的一对第一导轨811；以及支撑体812，沿着一对第一导轨811移动并且对切断机构4以能够沿着第二方向移动的方式予以支撑，刀片更换机构24具有：第一吸附部241a，吸附刀片41A、刀片41B；以及臂移动机构242，使第一吸附部241a在第二方向移动。
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公开(公告)号：CN112440166A
公开(公告)日：2021-03-05
申请号：CN202010400172.3
申请日：2020-05-13
Applicant: 东和株式会社
Abstract: 本发明提供一种法兰盘端面修正装置、切断装置、法兰盘端面修正方法以及切断品的制造方法，可修正两个法兰盘端面。本发明的法兰盘端面修正装置对夹持刀片的一对法兰盘的至少一者的端面进行修正，包括夹持端面修正用研磨石的一对研磨石固定构件、支撑所述一对研磨石固定构件的支撑部、以及供配置所述支撑部的端面修正用台，所述一对研磨石固定构件的长边方向的长度互不相同。
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公开(公告)号：CN117316808A
公开(公告)日：2023-12-29
申请号：CN202310653639.9
申请日：2023-06-02
Applicant: 东和株式会社
IPC: H01L21/67 , H01L21/677 , H01L33/00 , H01L23/12
Abstract: 本发明提供一种能够改善已成形基板的加热效率且降低已成形基板破损的可能性的翘曲矫正装置。翘曲矫正装置具备收容部、加热部、冷却部以及搬送机构。收容部收容已成形基板。加热部对已成形基板进行加热。冷却部在对已成形基板加压的状态下对已成形基板进行冷却。搬送机构将从收容部提供的已成形基板向加热部搬送，将由加热部加热的已成形基板向冷却部搬送。加热部在形成于加热部的内部空间配置有已成形基板的状态下对已成形基板进行加热。
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公开(公告)号：CN116963871A
公开(公告)日：2023-10-27
申请号：CN202180095325.0
申请日：2021-09-29
Applicant: 东和株式会社
IPC: B24B41/06
Abstract: 本发明自动更换用以保持加工对象物的保持用板，包括：加工机构4，对密封完毕基板W进行加工；板收容部24，收容用以保持密封完毕基板W的保持用板M1；保持基部M2，可装卸地安装有保持用板M1，使用保持用板M1来保持密封完毕基板W；以及板搬送机构25，在板收容部24及保持基部M2之间搬送保持用板M1，板搬送机构25将自保持基部M2卸除的保持用板M1搬送至板收容部24，并将位于板收容部24的保持用板M1搬送至保持基部M2。
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公开(公告)号：CN116868314A
公开(公告)日：2023-10-10
申请号：CN202180093604.3
申请日：2021-12-23
Applicant: 东和株式会社
IPC: H01L21/301
Abstract: 本发明是减少加工装置的占据面积的装置，包括：基板收容部111，收容密封完毕基板W；切断用工作台2A、切断用工作台2B，通过切断机构4加工密封完毕基板W；接收台115，自基板收容部111接收密封完毕基板W；台移动机构117，具有用以使接收台115移动至搬送位置的移动轨道117a；第一保持机构3，为了将密封完毕基板W搬送至切断用工作台2A、切断用工作台2B而保持；以及搬送用移动机构7，具有用以使第一保持机构3在位于搬送位置的接收台115与切断用工作台2A、切断用工作台2B之间移动的传递轴71，传递轴71与移动轨道117a在平面视时相互正交。
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公开(公告)号：CN116745042A
公开(公告)日：2023-09-12
申请号：CN202180090166.5
申请日：2021-12-23
Applicant: 东和株式会社
IPC: B08B3/02
Abstract: 本发明使装置结构简化并且减少占据面积，本发明包括：加工台2A、加工台2B，保持密封完毕基板W；第一保持机构3，为了将密封完毕基板W搬送至加工台2A、加工台2B而保持密封完毕基板W；加工机构4，对保持于加工台2A、加工台2B的密封完毕基板W进行加工；移载台5，移动多个制品P；第二保持机构6，为了将多个制品P自加工台2A、加工台2B搬送至移载台5而保持多个制品P；搬送用移动机构7，具有沿着加工台2A、加工台2B及移载台5的排列方向延伸且用于使第一保持机构3及第二保持机构6移动的共用的传递轴71；以及加工用移动机构8，使加工机构4在水平面上在沿着传递轴71的X方向及与X方向正交的Y方向分别移动。
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公开(公告)号：CN117581335A
公开(公告)日：2024-02-20
申请号：CN202280044313.X
申请日：2022-03-08
Applicant: 东和株式会社
IPC: H01L21/301
Abstract: 本发明简化装置结构，减少占据面积，并且使经单片化的加工对象物的收容空间小型化，且包括：加工台2A、加工台2B，保持密封完毕基板W；第一保持机构3，为了将密封完毕基板W搬送至加工台2A、加工台2B而保持密封完毕基板W；加工机构4，将保持于加工台2A、加工台2B的密封完毕基板W切断而单片化；收容箱5，将通过加工机构4而单片化的密封完毕基板W落下并收容；第二保持机构6，为了将制品P自加工台2A、加工台2B搬送至收容箱5而保持制品P；搬送用移动机构7，具有沿着加工台2A、加工台2B及收容箱5的排列方向延伸且用以使第一保持机构3及第二保持机构6移动的共用的传递轴71；以及加工用移动机构8，使加工机构4在水平面上在沿着传递轴71的第一方向及与所述第一方向正交的第二方向上分别移动。
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